Přestaňte čekat, než se vaše destičky ohřejí
Pokud jste někdy pracovali v oblasti hlubokého zpracování polovodičů, znáte ta frustrující situace spojené s použitím konvekčního ohřevu pomocí vzduchu. Je to velmi pomalé – v podstatě prostě sedíte a čekáte, až se vzduch ohřeje, a poté zase čekáte, než se tento žár dostane do samotných destiček. Je to opravdu velký problém.
Ale existuje lepší způsob. Infračervené ohřívače kompatibilní s vakuem prostě přeskakují tento „prostředníka“. Místo toho, aby se spoléhali na vzduch jako prostředek k přenosu tepla, využívají elektromagnetické záření k přenosu energie přímo do cíle.
Proč konvekce ničí váš čas
Horký vzduch je pomalý. Vytváří ten nepříjemný termální zpoždění, které zvyšuje dobu potřebnou k výrobě. Navíc, pokud přecházíte z vakuové komory do komory naplněné plynem jen proto, abyste dosáhli určité teploty, riskujete kontaminaci a výkyvy tlaku.
Infračervené lampy jsou jiné – vyhovují silnému vakuu. Skutečnou výhodou je rychlost ohřevu. Místo toho, abyste museli ohřívat každý kousek komory, infračervené fotony působí přímo na povrch destičky. To znamená, že doba ohřevu se zkrátí z minut na několik sekund. Je to opravdu rychlé. A to změní všechno ve vašem pracovním procesu.
Jak vlastně tyto zařízení vyrábíme
Nelze prostě vložit běžný ohřívač do prostředí s vysokým vakuem. Uvolňování škodlivin je noční můra – jeden malý únik škodlivin může zničit celou várku.
Proto používáme speciální křemíkové obaly a těsnění, která jsou opravdu vhodná pro práci v vakuu.
Nejlepší na tom je, že teplo je koncentrované. Můžete zaměřit teplotu na konkrétní oblasti destičky, aniž byste omylem poškodili okolní části. Tím se předchází napětí na okrajích silikonových destiček, což znamená méně poškozených součástek.
Nevýhody (protože vždycky nějaké jsou)
Infračervený ohřev není magické řešení. Protože energie působí velmi silně a rychle, je snadné překročit požadovanou teplotu. Pokud není váš PID obvod správně nastaven, překročíte cílovou teplotu.
Budete potřebovat pyrometry s rychlou reakcí, abyste mohli sledovat teplotu povrchu v reálném čase. A nešetřete na systému chlazení – pokud není dostatečně efektivní, teplo z lamp nakonec poškodí vaše těsnění.
V konečném důsledku přechod na infračervený ohřev znamená zvýšení produktivity. Přestanete platit za čas, který stroj tráví pouze ohřevem, a můžete začít skutečně pracovat.