In der Fabrikhalle erlaubt die Verarbeitung von Fotoleitstoffen keine Fehler. Eine Abweichung von 1°C bei der Erhitzung kann dazu führen, dass kritische Abmessungen beeinflusst werden. Zudem kann bereits eine kleine Anzahl an Partikeln dazu führen, dass ganze Chargen unbrauchbar werden. Deshalb haben wir unsere Heizlampen für Quarzkästen so konzipiert, dass diese Unregelmäßigkeiten ausgeschlossen werden.
Was wirklich wichtig ist
Die Lampen nutzen Halogenlampen mit Kurzwellenstrahlung innerhalb von hochreinen Quarzkapseln. Dadurch erfolgt eine schnelle Reaktion und eine präzise Temperaturkontrolle. Die Temperaturgleichmäßigkeit auf der Waferoberfläche liegt bei ±0,1°C – außerdem bleibt die Wiederholgenauigkeit über die gesamte Produktionszeit konstant. Dadurch werden Teilchenbewegungen vermieden. Die Lampen eignen sich für Reinräume der Klassen 1 bis 100. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg stabil – mit weniger als 5% Abfall. Dadurch können die Lampen rund um die Uhr eingesetzt werden.
Warum sie in der Lithografie ideal sind
In Lithografieanlagen sorgen diese Lampen dafür, dass die Temperatur beim Erhitzen des Fotoleitstoffs genau kontrolliert wird. Dadurch werden Abweichungen in der Linienbreite reduziert. Eine präzisere Temperaturkontrolle ermöglicht es, die Erhitzungszyklen zu verkürzen, ohne dass der Fotoleitstoff überhitzt wird. Dadurch steigt die Produktivität und der Energieverbrauch sinkt. Es entstehen weniger Nacharbeiten und die Betriebszeit kann besser geplant werden. Der Quarzkästchen-Format passt perfekt in die Standardanlagen – somit sind Umrüstzeiten minimal.
Praktische Details, die beachtet werden müssen
Bei der Installation muss die Spannung, der Anschlusstyp sowie die Abmessungen des Quarzkästchens an die jeweilige Anlage angepasst werden. Es muss stets überprüft werden, ob das Temperaturprofil zum Fotoleitstoff passt – dünne Schichten können nämlich ihre Absorptionsfähigkeit verändern. Die Lampen sind empfindlich gegenüber mechanischen Belastungen – daher sollten sie fest montiert werden. Beim ersten Start entsteht eine leichte Temperaturverschiebung; die Erhitzungsparameter sollten dies ausgleichen. Eine korrekte Ausrichtung der Lampen verhindert Hotspots – dadurch bleibt die Temperaturgleichmäßigkeit bei Tausenden von Wafern bei ±0,1°C.