Eine bessere Methode zum Trocknen von MEMS-Wafern
Wer bereits Erfahrung in der Herstellung von MEMS-Sensoren hat, kennt die Herausforderungen. Es ist schwierig, die Wafer trocken zu bekommen, ohne dass dabei Rückstände zurückbleiben – oder noch schlimmer: dass die Wafer durch thermischen Druck verformt werden.
Die meisten Menschen nutzen dazu herkömmliche Konvektionsheizer. Doch das hat einen Nachteil: Sie heizen die Innenwände des Gerächekorbs auf. Das ist Energieverschwendung – und außerdem eine Sicherheitsgefahr für die Personen, die in das Gerät hineingreifen müssen.
Wir haben eine bessere Lösung gefunden: Richtungsabhängige Infrarot-Heizlampen.
Wie es funktioniert
Stellen Sie sich das so vor: Resistive Heizer versuchen, die Luft um das Teil herum zu erwärmen. Infrarot-Lampen funktionieren anders – sie emittieren elektromagnetische Strahlung in gerader Linie. Wir richten diese Lampen direkt auf die Wafer. Die Energie trifft auf die Wafer sowie die flüssigen Rückstände – und schon erfolgt eine schnelle Verdunstung. Da die Wärme gezielt eingesetzt wird, bleiben die Wände des Geräts kühl. Man verschwendet keine Energie damit, den gesamten Raum zu heizen – man heizt nur das Teil, das wirklich benötigt wird.
Die Schwierigkeiten
Es ist jedoch nicht einfach, die richtige Temperatur zu erreichen. Um die perfekte Temperatur für MEMS-Wafer zu erzielen, verwenden wir in der Regel Kurzwellenquarzlampen. Diese können schnell auf Temperatur kommen – was ideal ist, um die Produktionslinie am Laufen zu halten.
Man muss jedoch vorsichtig mit dem Abstand zwischen den Lampen sein. Es handelt sich dabei um ein Gleichgewichtsproblem: Wenn die Lampen zu nah platziert werden, entstehen Hotspots, die den Sensor zerstören können. Wenn sie wiederum zu weit entfernt sind, dauert das Trocknungsverfahren viel länger. Man muss diesen Abstand genau richtig einstellen.
Einfachere Bedienung
Das Beste daran: Man kann auf die riesigen Isolationsschichten verzichten, die bei konventionellen Systemen notwendig sind. Dadurch nehmen die Geräte deutlich weniger Platz ein.
Außerdem entfallen die langen Wartezeiten, bis die Maschine bereit ist. Die Bediener können schneller an die Maschine herankommen, ohne befürchten zu müssen, von der heißen Hülle verbrannt zu werden.
Ein Tipp: Stellen Sie sicher, dass Ihre Stromversorgung die maximale Leistung der Lampen bewältigen kann. Andernfalls kommt es zu Flackern oder zum Ausbrennen der Glühfäden.