در فرآیندهای پختن فوتورزیست، نمیتوانید ریسک کاهش یا افزایش دما را در نظر بگیرید. حتی وجود یک نقطه گرم، میتواند باعث تغییر در لایه کاتالیزور شود؛ همچنین، وجود یک ناحیه سرد، میتواند منجر به ایجاد لکههایی روی سطح قطعات شود. به همین دلیل، لامپ خشککن کاتالیزور سلولهای سوختی، برای استفاده در محیطهای تمیز طراحی شده است؛ خشککردن ویفرها، پختن لیتوگرافی، فرآیندهای بستهبندی و خشککردن پس از تمیزکاری، همگی با استفاده از این لامپ انجام میشود.
چه چیزهایی اهمیت دارد؟
ما از عناصر مادون قرمز با زمان پاسخگویی سریع و کنترل طیفی دقیق استفاده میکنیم تا بتوانیم دمای لازم برای خشک شدن کاتالیزور را حفظ کنیم. یکنواختی دما در ناحیههای گرم، در حد ±۰٫۱ درجه سانتیگراد باقی میماند؛ بنابراین هر قطعه، دمای یکسانی دریافت میکند. سر لامپ نیز سازگار با استانداردهای کلاس ۱-۱۰۰ است؛ همچنین، این لامپ فاقد هرگونه ذرهای است و مسیر نوری آن نیز بسته است تا از ورود آلودگی جلوگیری شود. دقت تأمین انرژی نیز در حد ±۰٫۵٪ است؛ همچنین، تکرارپذیری این لامپ نیز به دلیل استفاده از روشهای پیرومتری در سطح سابسترات، بسیار خوب است.
چرا این لامپ در فرآیندهای تولید مفید است؟
در عمل، با استفاده از این لامپ، تعداد قطعات با کیفیت پایین کاهش مییابد؛ همچنین، بازدهی فرآیندهای بستهبندی افزایش مییابد و خشککردن قطعات پس از تمیزکاری نیز سریعتر انجام میشود؛ بدون ایجاد لکههایی روی سطح قطعات. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا لامپ به سرعت به دمای مورد نظر میرسد و آن را حفظ میکند؛ همچنین، زمان کارکرد لامپ نیز افزایش مییابد. ما دستگاههایی داریم که بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار کردهاند و کاهش بازدهی کمتر از ۵٪ بوده است؛ همچنین، پروفایلهای دمایی نیز در هر بار استفاده، یکنواخت باقی میمانند.
نکاتی برای استفاده در کارخانهها:
این لامپ به راحتی با ابزارهای معمولی ترکیب میشود؛ اما تنظیمات دقیق و خواص سابسترات نیز اهمیت دارند. برای بهترین نتایج، دمای مورد نظر را با استفاده از ویفرهای دارای دستگاههای اندازهگیری، در محیط واقعی فرآیند تنظیم کنید؛ همچنین، مطمئن شوید که ابزارهای حمل و نقل و سایر تجهیزات، مانع از تابش نور به ناحیه مورد نظر نمیشوند. پنجره کوارتزی لامپ را نیز مانند یک قطعه مصرفی در نظر بگیرید؛ آن را به طور منظم تمیز کنید تا یکنواختی دما حفظ شود و از اختلالات احتمالی جلوگیری شود.