روی کف، پدیده خشک شدن فوتورزیست تنها تا حد چرخههای حرارتی قبلی پایدار است. ویفرها روی واگنهای مخصوص قرار دارند؛ هر دقیقه اختلاف دما میتواند باعث ایجاد خطاهای اندازهای در فوتورزیست شود؛ در نتیجه، باید هزینه زیادی برای جبران این خطاها پرداخت کرد. ما گرمکنهای مناسب برای اتاقهای تمیز نیمههادی ساختیم تا این عدم قطعیتها را از بین ببریم.
چه چیزهایی مهم هستند؟ ما از عناصر مادون قرمز کوتاهامواج در پوشش کوارتزی استفاده میکنیم؛ این عناصر پاسخ سریعی دارند و گاز کمی تولید میکنند. این سیستم، یکنواختی حرارتی در سطح ویفرها را در محدوده ±۰٫۱ درجه سانتیگراد حفظ میکند؛ همچنین، قابلیت تکرار دمای مورد نظر نیز بالاتر از ±۰٫۵ درجه سانتیگراد است. الگوهای تغییر دما در هر بار اجرا تکرار میشوند؛ بنابراین، از هدررفت انرژی در فیلمهای حساس جلوگیری میشود.
این گرمکن از مواد سازگار با اتاقهای تمیز کلاس ۱ تا ۱۰۰ استفاده میکند؛ همچنین، مسیر جریان هوا به گونهای طراحی شده که تولید ذرات کاهش یابد. الگوریتم کنترل، حتی در شرایط نوسانات ولتاژ و باز بودن درها نیز کارایی خود را حفظ میکند.
چرا این گرمکن در فرآیندهای لیتوگرافی مؤثر است؟ در فرآیندهای لیتوگرافی، این گرمکن باعث میشود که فوتورزیست در دمای مناسبی خشک شود؛ بدین ترتیب، کنترل اندازههای حساس بهتر خواهد بود، تعداد موارد بازسازی کاهش مییابد و زمان اجرای فرآیند نیز قابل پیشبینی خواهد بود.
مصرف انرژی نیز با استفاده از حالتهای گرمایش هدفمند و حالت انتظار، کاهش مییابد؛ همچنین، این گرمکن در شرایط ۲۴/۷ کاری نیز قابل اعتماد است؛ بنابراین، هیچ توقف غیرمنتظرهای وجود نخواهد داشت. فرآیند نیز به خوبی ثبت شده و قابل بررسی است؛ بنابراین، نیازی به حدس و گمان نیست.
چه چیزهایی را باید در نظر بگیرید؟ برای نصب این گرمکن، به منبع تغذیه مخصوص و صحیح و همچنین زمینسازی مناسب نیاز است تا از رسوب الکتروستاتیک جلوگیری شود. این گرمکن در شرایط دمایی ۲۰–۲۵ درجه سانتیگراد و رطوبت ۳۵–۵۵٪ به خوبی کار میکند؛ در خارج از این محدوده، یکنواختی دما کاهش مییابد.
لازم است که قبل از نصب، ارتفاع مناسب بین ویفرها و گرمکن را اندازهگیری کنید تا جریان هوا با طرح کلی کارخانه هماهنگ باشد.