Dans les ateliers de fabrication, le traitement du photo-résistant ne tolère pas beaucoup d’erreurs. Une variation de 1 °C pendant le processus de cuisson peut entraîner des écarts importants dans les dimensions critiques des composants. De plus, la présence de particules indésirables peut détruire toute une série de produits finis. Nous avons conçu nos lampes de chauffage pour éliminer ces variations.
Ce qui est important en pratique Ces lampes utilisent des éléments halogènes à ondes courtes, placés à l’intérieur de enveloppes en quartz de haute pureté. Cela permet une réponse rapide et un contrôle thermique précis. La uniformité de température sur toute la surface de la pâte à circuits reste à ±0,1 °C, et la reproductibilité est constante d’une série à l’autre. Ce design permet également d’éviter toute présence de particules indésirables. Ces lampes peuvent être utilisées dans des salles propres de classe 1 à classe 100. Leur performance reste stable pendant plus de 5 000 heures, avec moins de 5 % de dégradation, ce qui leur permet de fonctionner 24/7.
Pourquoi elles sont idéales pour la lithographie Dans les lignes de lithographie, ces lampes permettent de contrôler précisément la température nécessaire au traitement du photo-résistant. Cela réduit les écarts dans la largeur des circuits imprimés et diminue le nombre de corrections nécessaires. Un contrôle thermique rigoureux permet de raccourcir les temps de cuisson sans risquer de surcuisson. Ainsi, le rendement augmente, tout en diminuant la consommation d’énergie. On obtient ainsi un meilleur rendement, moins de retouches, et une disponibilité optimale du matériel. Le format en quartz permet une intégration facile dans les systèmes existants, ce qui réduit les temps de changement de produit.
Les détails pratiques à prendre en compte L’installation nécessite que la tension, le type de connecteur et les dimensions de la lampe correspondent à ceux de l’équipement utilisé. Il est essentiel de vérifier le profil thermique en fonction du type de photo-résistant utilisé – les films fins peuvent affecter l’absorption de la lumière. Ces lampes ne supportent pas bien les chocs mécaniques, il est donc nécessaire de les fixer solidement. Un démarrage en mode froid entraîne un léger décalage de température ; les paramètres de cuisson doivent donc compenser cela. Une bonne alignement de la lampe permet d’éviter les points chauds, ce qui assure une uniformité de température de ±0,1 °C sur des milliers de wafers.