על רצפת המפעל, אפיית פוטורזיסט אף פעם אינה “רק שלב טמפרטורה”. זו תקציב תרמי עליו אתה מאשר. סטייה של 0.5°C באפיית soft bake או hard bake תזיז את התפלגות הממד הקריטי (CD). אירוע של חלקיק אחד יכול לגרום לסילוק כל המלאכה. כאשר הקו מתוכנן לפעולה 7×24, כלי האפייה חייב לספק את אותו הפרופיל התרמי, משמרת אחרי משמרת, ללא תירוצים. מה שחשוב מבחינה טכנית אנחנו מפעילים מנורות אפייה באטמוספירה מבוקרת שמשמרות אחידות טמפרטורה ברמת המצע בתוך ±0.1°C לאורך כל המשטח. זה מה שמאפשר זרימת פוטורזיסט עקבית והסרת ממס מקצה לקצה. מפיצי אינפרא-אדום קצר גל (SWIR) מגיבים במהירות, מגיעים לנקודת ההגדרה תוך שניות ושומרים על הימנעות מעקף טמפרטורה על שכבות הבסיס. התא בנוי לתאימות לחדר נקי מ-Class 1 ועד Class 100, תוך שימוש בחומרים בעלי פליטת גז נמוכה ונתיב זרימת אוויר מבוקר חלקיקים ששומר על ספירת חלקיקים נמוכה גם במהלך הפעלה רציפה. למה זה עומד במבחן הליתוגרפיה תפוקה בליתוגרפיה תלויה בחזרתיות. מנורות אלו שומרות על טמפרטורת אפייה עם התפלגות הדוקה לאורך אלפי מחזורים, כך שממוצע וטווח ה-CD נשמרים תחת שליטה ללא כיוונון מתמשך. הייצוב המהיר מקצר את זמן ההמתנה בין אפיות, מה שמשפר את התפוקה ללא הוספת עומס תרמי. צריכת האנרגיה מנוהלת באמצעות חיבור יעיל של המפיצים ואיטום תרמי הדוק—עלות התפעול יורדת, אך חתימת התהליך נשארת קבועה יום אחר יום. הפרטים שיכולים לגרום לבעיות אם מתעלמים מהם כדי לקבל ביצועים מלאים, מודול המנורה חייב להתאים לגיאומטרית התא ולפריסת כניסת הגז. אם מחליפים רפלקטור או מחסום זרימת אוויר שאינם תואמים, האחידות תיפגע וייצור החלקיקים יעלה. התקנה גם דורשת אספקת אוויר יבש ונקי יציב ונתיבי פליטה מאומתים כראוי—אחרת יש סיכון לנקודות חמות מקומיות. יש לתכנן את האינטגרציה מראש, ואז להפעיל את הקו בביטחון.