על הרצפה, יציבותו של הפוטורזיסט תלויה באיכותו של המחזור התרמי האחרון שעבר. הוופרים נמצאים על גבי עגלות, וכל שנייה של שינוי בטמפרטורה עלולה לגרום לשגיאות בממדי הפוטורזיסט – ואז עליכם לשלם על כך בצורת ירידה באיכות המוצר. ייצרנו את מערכת החימום של חדרי הניקיון האלקטרוניים כדי להסיר את אי-הוודאות הזו מהמשוואה.
מה חשוב באמת? אנו משתמשים ברכיבי אינפרה-אדום בעלי גל אור קצר, המונחים במעטפת של קוורץ – כך יש תגובה מהירה ופליטה מינימלית של גזים. המערכת שומרת על אחידות טמפרטורית ברמת הוופרים, בטווח של ±0.1°C, ועל רמת דיוק של יותר מ-±0.5°C. פרופילי החימום חוזרים על עצמם בכל פעם, כך שאין צורך לבזבז אנרגיה על חומרים רגישים.
החימום משתמש בחומרים התואמים לחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, ומבנה זרימת האוויר נועד למנוע ייצור של חלקיקים. אלגוריתמי השליטה שומרים על יציבות הטמפרטורה גם בעת שינויים במתח החשמלי או כשהדלתות נפתחות.
למה זה טוב לתהליכי ליתוגרפיה? בתהליכי ליתוגרפיה, מערכת החימום שומרת על הפוטורזיסט בטמפרטורה הנכונה, ללא עודף או חוסר בחימום. כך ניתן לשלוט בממדים הקריטיים של החומר בצורה אחידה, יש פחות צורך בתיקונים, והזמני העבודה יציבים.
שימוש יעיל באנרגיה מתאפשר בזכות חימום ממוקד ומצבי המתנה. האמינות של המערכת גבוהה, כך שאין צורך בהפסקות בעת הפעלה 24/7. התהליך נשמר ברשומות וניתן לבדוק אותו, ללא צורך בהערכות.
מה צריך לתכנן? ההתקנה דורשת מקור אנרגיה מיוחד וחיבור נכון לקרקע, כדי למנוע פליטת אנרגיה אלקטרוסטטית. החימום עובד כראוי כאשר טמפרטורת החדר נמצאת בין 20–25°C ולחות בין 35–55%. מחוץ לטווח זה, האחידות של הטמפרטורה יורדת.
יש לתכנן בדיקות לרמת הוופרים, ולוודא שהזרימה של האוויר תואמת את תכנון המפעל.