फैब्रिकेशन लाइन पर, आपको तो पता ही है कि क्या होता है… बेकिंग तापमान में 0.1°C का भी अंतर, फोटोरेजिस्ट की गुणवत्ता को खराब करने के लिए पर्याप्त है। इसीलिए हमने ऐसे वेफर ड्रायर बनाए हैं, ताकि ऐसी स्थितियों में थर्मल बजट, पुनरावृत्ति की संभावना, एवं कण-नियंत्रण का उपयोग करके उत्पादन की गुणवत्ता बनाए रखी जा सके।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हम 150 मिमी एवं 200 मिमी आकार के सब्सट्रेटों पर ±0.1°C की समानता बनाए रखते हैं। NIR तकनीक एवं ऑप्टिमाइज्ड एयरफ्लो के कारण हॉट स्पॉट्स दूर हो जाते हैं, बिना किसी अतिरिक्त तापमान वृद्धि के। क्वार्ट्ज एवं हैलोजन मॉड्यूलों को ऐसे ही तरीके से कैलिब्रेट किया गया है कि वे फोटोरेजिस्ट के ‘सॉफ्ट बेक’ एवं ‘हार्ड बेक’ चरणों में काम कर सकें। कार्बन-फाइबर से बने हीटरों के कारण तापमान में तेजी से वृद्धि होती है, एवं जड़त्व कम रहता है।
क्लीनरूम से संबंधित बातें
क्लीनरूम से संबंधित विशेषताएँ तो अतिरिक्त ही नहीं हैं… आप क्लास 1–100 की व्यवस्थाओं का उपयोग कर सकते हैं; ऐसी व्यवस्थाओं में कोई कण उत्पन्न ही नहीं होता, एवं एक्सहॉस्ट फिल्टरेशन के कारण वेफर पर कोई दूषण नहीं आता। कंट्रोल लूप ऐसे ही तरीके से तैयार किया गया है कि हर बार एक ही गुणवत्ता प्राप्त हो।
यह क्यों कारगर है?
लिथोग्राफी में, फोटोरेजिस्ट के तापमान को नियंत्रित रखने से महत्वपूर्ण आयामों में स्थिरता बनी रहती है… इससे लाइन-विस्थापन एवं पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है। क्लीनिंग एवं ड्रायिंग प्रक्रिया में, पानी बिना किसी निशान के ही निकाल दिया जाता है… इससे दोषों की संख्या कम हो जाती है। पैकेजिंग में भी, यही प्लेटफॉर्म एनकैप्सुलेंट एवं अंडरफिल को स्थिर तरीके से सुखाने में मदद करता है… इससे समय कम लगता है, ऊर्जा की खपत भी कम होती है। परिणामस्वरूप, उत्पादन दक्षता बढ़ जाती है, अनावश्यक वेफरों की संख्या कम हो जाती है, एवं अनप्लान्ड डाउनटाइम भी कम हो जाता है।
इंस्टॉलेशन एवं रखरखाव संबंधी बातें
एक्सहॉस्ट डक्टों का आकार, क्लीनरूम के दबाव-अंतर के अनुरूप होना चाहिए… यदि डक्ट ठीक से जुड़े न हों, तो टर्बुलेंस हो जाती है, जिससे समानता बनी नहीं रहती। इस यूनिट को स्थिर रखने हेतु एक विशेष पावर सर्किट भी आवश्यक है। लैंप के प्रत्येक 5,000 घंटे के उपयोग के बाद तापमान को सही रखने हेतु कैलिब्रेशन आवश्यक है… ठीक से सेट करने पर, यह प्लेटफॉर्म 24/7 काम कर सकता है… वेफर ड्रायिंग, फोटोरेजिस्ट बेकिंग, एवं पैकेजिंग प्रक्रियाओं में भी स्थिर तापमान प्राप्त होता है।