फोटोरेजिस्ट को नरम/कठोर तापमान पर सुखाने की प्रक्रिया में, तापमान में होने वाले उतार-चढ़ावों को नजरअंदाज करना असंभव है। यदि कहीं एक जगह तापमान अधिक हो जाए, तो कैटालिस्ट परत विस्थापित हो जाती है; और यदि कहीं तापमान कम हो जाए, तो डेवलपमेंट के बाद अशुद्धियाँ उत्पन्न हो जाती हैं। इसी कारण ही फ्यूएल सेल कैटालिस्ट को सुखाने हेतु ऐसी लैंपें विकसित की गईं – जिससे वेफरों को सुखाने, लिथोग्राफी प्रक्रिया को पूरा करने, पैकेजिंग प्रक्रिया को पूरा करने, एवं सफाई के बाद वेफरों को सुखाने का काम एक ही उपकरण द्वारा किया जा सके।
क्या महत्वपूर्ण है?
हमने ऐसे शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड घटकों का उपयोग किया है, जिनमें तेज़ तापमान वृद्धि दर एवं सटीक स्पेक्ट्रल नियंत्रण है। इससे हॉट जोन में वेफरों पर तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है; इससे हर वेफर को समान तापमान मिलता है। लैंप हेड, क्लास 1–100 मानकों के अनुरूप है; हीटर से कोई कण उत्पन्न नहीं होता, एवं ऑप्टिकल पथ भी सील्ड है, ताकि कोई दूषण न आ सके। विद्युत आपूर्ति ±0.5% के भीतर ही रहती है, एवं रिपीटेबिलिटी को बनाए रखने हेतु सब्सट्रेट स्तर पर ही पाइरोमेट्री उपकरणों का उपयोग किया गया है।
उत्पादन में इसका क्या लाभ है?
व्यवहार में, फोटोरेजिस्ट को असमान तापमान पर सुखाने से होने वाली गलतियाँ कम हो जाती हैं; पैकेजिंग प्रक्रिया में उत्पादन दर बढ़ जाती है, एवं सफाई के बाद वेफरों को जल्दी ही सुखाया जा सकता है – बिना किसी दूषण के। ऊर्जा खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि लैंप तय तापमान पर ही काम करता है, एवं 24/7 ऑपरेशन हेतु इसकी डिज़ाइन ही ऐसी है। हमारे पास ऐसे उपकरण हैं, जो 5,000+ घंटों तक काम करते हैं, एवं उनका आउटपुट 5% से भी कम गिरता है; तापमान प्रोफाइल भी हर बार समान ही रहता है।
कुछ अन्य बातें…
यह लैंप, मानक ट्रैकों एवं अन्य उपकरणों के साथ आसानी से काम करता है; लेकिन अलाइनमेंट एवं सब्सट्रेट की विकिरण क्षमता भी महत्वपूर्ण है। सबसे अच्छे परिणामों हेतु, वास्तविक प्रक्रिया वातावरण में ही इन्स्ट्रूमेंटेड वेफरों का उपयोग करके सेटपॉइंट को कैलिब्रेट करें; एवं यह सुनिश्चित करें कि कोई भी वस्तु लक्षित क्षेत्र पर छाया न डाले। क्वार्ट्ज विंडो को भी एक “कंज्यूमेबल” उपकरण के रूप में ही मानें – इसे नियमित रूप से साफ करें, ताकि तापमान समान ही रहे।