अपने वैक्यूम चेम्बर को अति-गर्म होने से बचाएं
यदि आपने कभी वैक्यूम चेम्बर में वेफरों या सबस्ट्रेटों को गर्म किया है, तो आपको इसकी कठिनाइयों का पता होगा। सबसे बड़ी समस्या तो “अतिरिक्त ऊष्मा” ही है।
सामान्य आईआर लैंप, वास्तव में ऐसे बल्ब हैं जो ऊर्जा को हर दिशा में फैलाते हैं। सेमीकंडक्टर उपकरणों में यह एक बड़ी समस्या है; क्योंकि चेम्बर की दीवारें उस अतिरिक्त ऊर्जा को अवशोषित कर लेती हैं। इसके परिणामस्वरूप चेम्बर की आंतरिक दीवारें गर्म हो जाती हैं, जिससे उपकरणों को नुकसान पहुँच सकता है… या और भी खराब स्थिति में, मशीन चलाने वाले व्यक्ति को चोट भी लग सकती है।
ऊष्मा प्रदान करने का बेहतर तरीका
हम इस समस्या को हल करने हेतु भौतिकी के नियमों का उपयोग करते हैं।
हम साधारण क्वार्ट्ज ट्यूबों के बजाय, लैंप के पिछले हिस्से पर चयनात्मक रिफ्लेक्टिव कोटिंग लगाते हैं। इसे एक दर्पण के रूप में ही समझें… यह आईआर विकिरण को उसी दिशा में भेजता है, जहाँ उसकी आवश्यकता है… यानी आपके लक्ष्य तक।
यह तो ऑप्टिक्स में एक छोटा सा बदलाव ही है… लेकिन इससे बहुत बड़ा अंतर पड़ता है। इससे चेम्बर की दीवारों पर अतिरिक्त ऊष्मा नहीं पड़ती… आपके कार्य-वस्तुओं पर सटीक एवं नियंत्रित ऊष्मा ही पड़ती है… और मशीन का बाहरी हिस्सा ठंडा ही रहता है।
वास्तविक दुनिया में आने वाली चुनौतियाँ
इन दिशात्मक लैंपों के कारण आप अधिक वाटेज का उपयोग कर सकते हैं… बिना मशीन को नुकसान पहुँचाए। यह तो एक बड़ा फायदा ही है।
लेकिन कुछ भी हमेशा नहीं चलता… उच्च तापमान के कारण धीरे-धीरे वह रिफ्लेक्टिव कोटिंग खराब हो जाती है। यह तो रातों-रात नहीं होता… लेकिन ऐसा तो होता ही है। मैं सलाह दूँगा कि हर कुछ हजार घंटों में ही थर्मल प्रोफाइलों की जाँच करें… ताकि आपको पता चल सके कि किरणों की तीव्रता/दिशा में कोई बदलाव तो नहीं हुआ है।
वास्तविक उपयोग हेतु आवश्यक चीजें
इन लैंपों को वैक्यूम वातावरण में इस्तेमाल करने हेतु थोड़ी सावधानी आवश्यक है… आपको अपने कनेक्टरों का ध्यान रखना होगा… उनकी क्षमता आपके वोल्टेज के अनुरूप होनी चाहिए… और यह भी सुनिश्चित करें कि लैंप बिना किसी दबाव के ही अपनी जगह पर फिट हो। आप तो ऐसी स्थिति नहीं चाहेंगे… जिसमें उपकरणों पर दबाव पड़े।
सबसे अच्छी बात यह है कि आप अधिक तापमान पर भी अपनी प्रक्रियाएँ चला सकते हैं… जबकि मशीन का बाहरी हिस्सा ठंडा ही रहेगा।
इसका मतलब है कि आपको दीवारों पर लगे भारी वॉटर-कूलिंग उपकरणों की आवश्यकता ही नहीं है… आपको कूलिंग उपकरणों पर होने वाला खर्च भी बचेगा… और सबसे महत्वपूर्ण बात यह है कि मशीन चलाने वाले व्यक्तियों को गर्म सतहों से बचने की आवश्यकता ही नहीं है।