製造装置が勝手に過熱するのを防ぐ
半導体製造工場では、本来あるべき場所にない熱は大きな問題となります。 もし通常の赤外線ランプを使用しているなら、その問題に気づいているはずです。つまり、エネルギーがあちこちに散乱してしまうのです。その「無駄な熱」の多くが装置の内壁に当たります。やがて、機械のケースが非常に熱くなり、熱膨張によって機械が変形するのではないかと心配になります。 そこで、方向性のある赤外線ランプが役立ちます。
実際の動作原理
ほとんどの石英ランプは、360度全方位に熱を放出します。これは過剰です。私たちは、特定の反射板やフィルターを使って、光束を絞り込みます。 目的は、赤外線エネルギーをウェーハや基板に正確に当てることです。これはとてもシンプルです。熱が壁に当たらなければ、壁は冷たいままです。推測する必要はなく、物理学に従えばいいのです。
ご自身の工場での活用方法
最良の点は、これらのランプは既存の硬化装置の代替品として使えることです。 光束を絞り込むことで、冷却システムへの負担を軽減できます。また、オペレーターも、激しく熱くなった筐体に触れる心配なく、機械のそばに立つことができます。これにより、作業現場がより安全になります。
注意点（何かしらの欠点はあるものです）
ただし、このランプをそのまま接続しておくだけではいけません。 方向性のある加熱は精度が重要です。もしランプの角度が数度でもずれていると、目標を外し、装置内部に熱点が生じます。チャンバーの形状に基づいて、正確な焦点を設定する必要があります。正確に設定するには少し時間がかかります。 また、空気の流れにも注意が必要です。高ワット数の電力を方向性ランプに供給すると、電極に大きな負荷がかかります。ランプの周囲の換気が不十分な状態で100％の負荷で動かすと、予想以上に早く壊れてしまいます。空気を流し続ければ、ランプは長持ちします。