オーブンを使わない方法：無鉛半導体を硬化させるためのより優れた手段
業界では「グリーン」で無鉛の基準を目指して努力が続けられています。これは至る所で見られますが、特に乾燥や硬化の段階でその効果が顕著に現れます。
長い間、私たちは大きな対流式オーブンを使用してきました。しかし、問題点があります。大量の空気を加熱するのはエネルギーの無駄です。さらに、動く空気はほこりや粒子がウェハーに付着する原因ともなります。
そこで、私たちは赤外線を利用した硬化処理に切り替えました。空気を加熱する代わりに、電磁波を直接対象物に当てるのです。
赤外線が有効な理由
太陽の光を思い浮かべてみてください。周囲の空気が100度である必要はなく、エネルギーは直接私たちに届きます。これはエネルギーコストを大幅に削減できるだけでなく、ハードウェアにとっても有益です。無鉛のはんだや接着剤は特定の温度が必要で、迅速に加熱される必要があります。赤外線はその精度を提供し、材料を損傷させることがありません。
ハウジングの重要性
単にランプをテーブルの上に置くだけでは不十分です。実際の工場で使えるように、304または316Lステンレス鋼で作られた専用のハウジングを使用します。これらの材質は腐食しない上、有害なガスを放出しないため、クリーンルーム内の環境を保つのに適しています。
このハウジングは単にランプを固定するだけでなく、鏡のように機能し、余分な放射線をウェハーに戻すことで、必要な場所に熱を集中させます。また、密閉性も高く、揮発性有機化合物が部屋の中に漏れ出るのを防ぎます。
現実的な課題
赤外線は確かに高速ですが、魔法ではありません。高強度のランプは大量の熱を発生させます。排気システムが不十分だったり、冷却システムが小さすぎると、その熱が周囲の機械に影響を与えます。ランプのワット数とハウジングの熱容量のバランスをうまく取る必要があります。そうでないと、コンベアシステムが過熱してしまいます。
しかし、メリットもあります。無鉛基準はゼロ排出を目指しているため、赤外線は燃焼や化学的反応を必要としないため、あらゆる環境基準を満たします。古い対流式システムに代わる簡単な解決策であり、電力消費を削減し、有毒物質を完全に排除できます。