MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

MEMSウェーハをより効率的に乾燥させる方法 MEMSセンサーの製造に携わったことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。残留物を残さずにウェーハを乾燥させるのは容易ではありません。さらに悪いことに、熱応力によって部品が変形してしまうこともあります。これは常に解決が難しい問題です。 多くの人々...