MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

MEMS 웨이퍼를 더 효과적으로 건조시키는 방법 MEMS 센서 제조에 관심이 있는 분들이라면 그 어려움을 잘 알고 있을 것입니다. 웨이퍼를 건조시키면서도 잔여물이 남지 않도록 하고, 열應力로 인해 웨이퍼가 변형되는 것을 막는 것은 정말 어려운 일입니다. 대부분의 사람...