Di lantai pengilangan, sebuah wafer 300mm diletakkan, menunggu untuk disesuaikan isyarat termahnya. Satu gangguan dalam profil soft bake atau hard bake, dan lebar garisan photoresist anda mula terpesong. Anda kehilangan hasil sebelum ruang etsa bahkan melihat wafer. Kami membina lampu pemprosesan terma pantas kami untuk menghentikan pergeseran itu tepat di tempat ia bermula.
Apa yang penting di bawah permukaan
Lampu menggunakan sumber halogen gelombang pendek dalam pemasangan kuarza, supaya tenaga adalah pantas, berarah, dan di bawah kawalan spektrum yang ketat. Di seluruh zon proses, keseragaman tahap wafer dikekalkan pada ±0.1°C, dan kebolehulangan suhu tetap terkunci kitaran demi kitaran. Sistem ini dikhususkan untuk bilik bersih Kelas 1–100, dan pilihan komponen serta meterai direka untuk memastikan penghasilan partikel sifar. Penyampaian kuasa dikalibrasi agar sepadan dengan bajet terma nod maju, jadi kenaikan, rendaman, dan quench berfungsi tepat seperti yang dinyatakan dalam resipi.
Mengapa ia sesuai di tempat kami menggunakannya
Dalam trek litografi, lampu menstabilkan profil soft bake dan hard bake yang menetapkan kawalan dimensi kritikal anda. Dalam integrasi pembersihan dan pengeringan, ia memendekkan masa kitaran terma tanpa memberi tekanan pada filem—pengeluaran meningkat, penggunaan tenaga berkurangan. Ia beroperasi 24/7 tanpa masa henti tidak dirancang, dan selang penyelenggaraan boleh diramalkan. Hasilnya ialah kurang gangguan, taburan lebih ketat, dan konsistensi wafer-ke-wafer yang boleh dipercayai.
Butiran praktikal
Lampu memenuhi spesifikasi hanya apabila optik ruang dan laluan penyejukan berada dalam keadaan bersih dan sejajar. Pencemaran atau ketidaksejajaran akan mengganggu peta suhu anda. Pemasangan bermaksud menyepadukan antara muka penyambung dan jenis kuasa dengan alat hos, dan anda harus mengesahkan lampu mengikut resipi proses yang tepat. Kami menyediakan lengkungan kalibrasi dan ujian penerimaan untuk memudahkan integrasi, tetapi tetapan tahap alat perlu dijalankan dengan ketelitian yang sama seperti mana-mana kelayakan proses lain.