Cara yang Lebih Baik untuk Mengeringkan Wafer MEMS
Jika anda pernah terlibat dalam proses pembuatan sensor MEMS, anda pasti tahu betapa sukarunya proses ini. Untuk mengeringkan wafer tanpa meninggalkan sisa-sisa cecair, atau lebih buruk lagi, menyebabkan wafer berubah bentuk akibat tekanan haba, merupakan cabaran yang sangat besar.
Kebanyakan orang menggunakan pemanas konvensional untuk tujuan ini. Namun, cara ini mempunyai kelemahan – ia akan memanaskan dinding dalaman ruang mesin tersebut. Ini bukan sahaja membazir tenaga, tetapi juga membahayakan keselamatan orang yang perlu masuk ke dalam mesin tersebut.
Kami telah menemukan cara yang lebih baik: penggunaan lampu pemanas inframerah yang dikendalikan secara terarah.
Bagaimana ia berfungsi?
Pemanas konvensional berusaha memanaskan udara di sekeliling bahan yang diproses. Namun, lampu inframerah berbeza – ia mengeluarkan radiasi elektromagnetik secara lurus ke arah wafer. Energi tersebut akan memanaskan wafer dan sisa cecair yang ada padanya, lalu menyebabkan penyejatan yang cepat. Oleh kerana haba ditujukan secara tepat pada bahagian yang perlu dipanaskan, dinding mesin tetap sejuk. Anda tidak perlu membazir tenaga untuk memanaskan seluruh ruang mesin; hanya bahagian yang memerlukan pemanasan sahaja yang akan dipanaskan.
Cabaran yang perlu dihadapi
Namun, cara ini bukanlah sesuatu yang mudah. Untuk mendapatkan kekuatan haba yang sesuai untuk MEMS, kita biasanya menggunakan lampu kuarsa berfrekuensi tinggi. Lampu ini dapat memanaskan bahan dengan cepat, yang sangat bagus untuk memastikan proses pengeluaran berjalan lancar.
Namun, jarak antara lampu dan wafer perlu dikawal dengan teliti. Jika lampu terlalu dekat, ia akan menyebabkan titik panas yang boleh merosakkan sensor. Jika lampu terlalu jauh pula, masa yang diperlukan untuk mengeringkan wafer akan menjadi lebih lama. Anda perlu mencari jarak yang tepat.
Memudahkan kerja di tempat kerja
Yang terbaik ialah anda tidak perlu menggunakan bahan penebat yang berat seperti yang digunakan oleh sistem konvensional. Ini bermakna alat-alat yang digunakan akan menggunakan ruang yang lebih sedikit di tempat kerja.
Selain itu, masa menunggu yang panjang ketika mesin dimulakan juga dapat dikurangkan. Para pekerja dapat memasuki mesin dengan lebih cepat, tanpa perlu risau tentang bahaya akibat suhu yang tinggi.
Satu lagi tips: pastikan bekalan kuasa dapat menampung kuasa maksimum lampu tersebut. Jika tidak, lampu tersebut akan berfungsi dengan tidak stabil, atau filamen lampu boleh rosak lebih awal daripada yang sepatutnya.