Di atas lantai, kestabilan bahan fotoresist bergantung pada kitaran suhu yang dialaminya sebelum ini. Wafer-wafer tersebut diletakkan di atas troli, dan setiap perubahan suhu walaupun sedikit sahaja boleh menyebabkan kesilapan dalam dimensi bahan fotoresist. Ini akan menyebabkan kerugian dari segi hasil pengeluaran. Kami telah mencipta sistem pemanas khas untuk bilik bersih semikonduktor, agar ketidakpastian ini dapat diatasi.
Apa yang penting dalam sistem ini
Kami menggunakan elemen inframerah gelombang pendek yang terletak di dalam beg kuarza—elemen ini memberikan respons yang cepat dan mengurangkan pelepasan gas. Sistem ini memastikan suhu pada wafer kekal stabil dalam lingkungan ±0.1°C, manakala ketepatan suhu pula melebihi ±0.5°C. Profil suhu yang digunakan adalah konsisten setiap kali proses berlangsung, jadi tidak akan ada masalah dengan filem sensitif yang digunakan.
Pemanas ini menggunakan bahan yang sesuai untuk bilik bersih kelas 1–100. Aliran udara juga diatur dengan baik agar partikel tidak terbentuk. Algoritma kawalan pula memastikan suhu tetap stabil walaupun voltan berubah atau pintu dibuka.
Mengapa ia sesuai untuk proses litografi
Dalam proses litografi, pemanas ini membantu mengekalkan suhu bahan fotoresist pada tahap yang tepat, tanpa berlaku peningkatan atau penurunan suhu secara berlebihan. Dengan cara ini, kawalan dimensi kritikal dapat dilakukan dengan lebih baik, mengurangkan jumlah bahan yang perlu diproses semula, dan masa proses menjadi lebih dapat diramalkan.
Penggunaan tenaga dikurangkan melalui kaedah pemanasan yang tepat dan mod siap sedia. Kebolehpercayaan sistem ini juga tinggi, sehingga ia boleh beroperasi 24/7 tanpa gangguan. Proses pengeluaran juga dapat didokumentasikan dengan jelas, tanpa perlu membuat tekaan.
Apa yang perlu dirancang
Untuk pemasangan, diperlukan sambungan kuasa yang stabil dan sistem pengudaraan yang baik untuk mengelakkan pelepasan elektrostatik. Pemanas ini akan berfungsi dengan baik apabila suhu di bilik bersih berada antara 20–25°C dan kelembapan udara antara 35–55%. Jika suhu berada di luar julat ini, ketepatan suhu akan berkurangan.
Rancanglah ujian yang sesuai untuk memastikan sistem berfungsi dengan baik, dan pastikan jarak antara komponen-komponen sesuai dengan susunan bilik pengeluaran.