Op de vloer is de stabiliteit van de fotoresist afhankelijk van de laatste thermische behandeling die heeft plaatsgevonden. De wafers liggen op karretjes, en elke minuut waarin de temperatuur verschilt, kan leiden tot fouten in de afmetingen van de fotoresist. Hierdoor moet je meer kosten maken voor het herstellen van deze fouten. We hebben daarom een verwarmingsapparaat ontworpen dat deze onzekerheden wegneemt.
Wat belangrijk is onder de motorkap
Wij gebruiken kortegolflange infrarood-elementen in een kwartsomhulsel – dit zorgt voor een snelle reactie en minimale uitstoot van gassen. Het systeem zorgt voor een constante temperatuur over alle wafers, met een nauwkeurigheid van ±0,1°C. De herhaalbaarheid van de temperatuur is zelfs nog beter: ±0,5°C. De verhittings- en koelprocedures blijven consistent van keer op keer, zodat er geen schade wordt veroorzaakt aan de gevoelige films.
Het verwarmingsapparaat is gemaakt van materialen die geschikt zijn voor een schone werkruimte (klasse 1–100). De luchtcirculatie is zo ingericht dat er zo min mogelijk deeltjes worden geproduceerd. De controlealgoritmen blijven werken, zelfs wanneer de spanning fluctueert of wanneer de deuren opengaan.
Waarom het werkt in de litografie
In de litografie zorgt het verwarmingsapparaat ervoor dat de fotoresist op de juiste temperatuur blijft, zonder dat er sprake is van te hoge of te lage temperaturen. Hierdoor kan men betere controle hebben over de afmetingen van de wafers, minder producten moeten worden herwerkt, en zijn de cyclustijden voorspelbaar.
Energieverbruik wordt geminimaliseerd door gecontroleerd opwarmen en stand-by-modi. Het apparaat is 24/7 betrouwbaar in gebruik – er zijn geen onverwachte stilstanden. Het proces blijft goed gedocumenteerd en kan worden gecontroleerd.
Wat je moet plannen
Voor de installatie is een gespecialiseerde, gefilterde stroombron nodig, evenals een goede aarding om elektrische discharges te voorkomen. Het apparaat werkt optimaal wanneer de temperatuur in de schone werkruimte tussen 20–25°C ligt en de relatieve luchtvochtigheid tussen 35–55%. Buiten deze grenzen neemt de nauwkeurigheid af.
Plan eerst een test om te controleren of het apparaat werkt voor jouw specifieke toepassing. Zorg er ook voor dat de luchtcirculatie overeenkomt met de indeling van je fabriek.