Не позволяйте оборудованию перегреваться самостоятельно
На производстве полупроводников серьезной проблемой является избыточное тепло, которое появляется в тех местах, где его быть не должно. Если вы используете стандартные инфракрасные лампы, вы, наверное, уже заметили эту проблему: энергия просто рассеивается во все стороны. Большая часть этого „отходного тепла“ попадает на внутренние поверхности оборудования. Вскоре корпус оборудования становится слишком горячим для прикосновения, и возникает опасение, что конструкция оборудования может деформироваться из-за теплового расширения.
Вот здесь-то и пригождаются направленные инфракрасные лампы.
Как это работает на самом деле
Большинство кварцевых ламп излучают тепло во всех направлениях – на 360 градусов. Это слишком. Мы используем специальные отражатели и фильтры, чтобы сосредоточить луч света в одном направлении. Цель состоит в том, чтобы направить инфракрасную энергию именно на пластину или подложку, а не в другие места. Это довольно просто: если тепло не попадает на стены, они остаются прохладными. Никаких сложностей – только законы физики.
Как использовать эти лампы в вашем цехе
Самое хорошее в этих лампах то, что они могут заменить существующие лампы без каких-либо изменений. Когда луч света сосредоточен в одном направлении, не нужно бороться с системой охлаждения. Система охлаждения может работать значительно менее интенсивно. Кроме того, операторы могут стоять рядом с оборудованием, не боясь обжечься от горячего корпуса. Это делает рабочую зону более безопасной.
Но есть и недостатки…
Вы не можете просто подключить эти лампы и забыть о них. Направленное нагревание требует точности. Если лампа смещена хотя бы на несколько градусов, она не сможет достичь цели, и внутри оборудования будет образовываться зона высокой температуры. Необходимо точно определить точку фокусировки, исходя из геометрии помещения. Это требует терпения.
Также необходимо следить за потоком воздуха. Использование ламп с высокой мощностью создает большую нагрузку на электроды. Если лампы работают на полной мощности без достаточной вентиляции, они сгорят гораздо быстрее, чем следует. Обеспечьте циркуляцию воздуха, и лампы прослужат дольше.