На полу фотополимер остается стабильным только в течение последнего термического цикла. Пластины размещаются на тележках, и любое изменение температуры на протяжении минуты может привести к ошибкам в размерах фотополимера. Это в свою очередь влияет на качество готовой продукции. Мы разработали специальные нагреватели для чистых комнат, чтобы устранить эту неопределенность.
Что имеет значение при работе нагревателя
Мы используем инфракрасные элементы коротких волн, помещенные в кварцевые оболочки — это обеспечивает быструю реакцию нагревателя и минимальное выделение газов. Система обеспечивает одинаковую температуру на всех пластинах в пределах ±0,1°C, а точность установки температуры — более ±0,5°C. Профили нагрева остаются постоянными с каждой процедурой, что позволяет избежать повреждения чувствительных пленок.
Нагреватель изготовлен из материалов, соответствующих стандартам чистых комнат класса 1–100. Расположение каналов для потока воздуха способствует снижению количества частиц в воздухе. Алгоритм управления сохраняет стабильность даже при колебаниях напряжения или открытии дверей.
Почему нагреватель подходит для использования в литографии
В процессе литографии нагреватель поддерживает оптимальную температуру фотополимера, без перегрева или недогрева. Это обеспечивает стабильный контроль за размерами деталей, сокращает количество необходимых корректировок и позволяет планировать время выполнения процесса.
Энергопотребление снижается благодаря целенаправленному нагреву и режиму ожидания. Нагреватель может работать круглосуточно без сбоев. Весь процесс задокументирован, что позволяет контролировать его ход.
Что необходимо учесть при планировании
Для установки нагревателя требуется специальное электроснабжение с фильтрацией и правильная система заземления для предотвращения электростатического разряда. Нагреватель будет работать корректно, если температура в чистой комнате будет находиться в диапазоне 20–25°C и влажность — 35–55%. В других условиях точность контроля температуры снижается.
Необходимо также учитывать размеры тележек, на которых размещаются пластины, чтобы поток воздуха соответствовал планировке производства.