ในห้องปฏิบัติการผลิตชิปนั้น คุณก็รู้ดีว่ามีข้อกำหนดที่เข้มงวดมาก การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 0.1°C เท่านั้นก็เพียงพอที่จะทำให้โครงสร้างของฟอโตรีสิสต์เสียหายได้ นั่นคือเหตุผลที่เราสร้างเครื่องอบวงแหวนเหล่านี้ขึ้นมา เพื่อช่วยควบคุมอุณหภูมิ ความสม่ำเสมอ และการควบคุมอนุภาคต่างๆ ซึ่งเป็นปัจจัยสำคัญที่ส่งผลต่อคุณภาพของชิป
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค
เราสามารถควบคุมความสม่ำเสมอของอุณหภูมิได้อยู่ที่ ±0.1°C บนวงแหวนที่มีขนาด 150 มม. และ 200 มม. ระบบ NIR ร่วมกับการควบคุมกระแสอากาศอย่างมีประสิทธิภาพ ช่วยกำจัดจุดร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพ โดยไม่ทำให้อุณหภูมิสูงเกินไป ส่วนโมดูลควอตซ์และฮาโลเจนนั้นถูกปรับให้อยู่ในช่วงอุณหภูมิที่เหมาะสมสำหรับการอบฟอโตรีสิสต์ ส่วนเครื่องทำความร้อนที่มีเส้นใยคาร์บอนนั้นช่วยให้สามารถเพิ่มอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็ว โดยมีแรงต้านน้อย
ความสามารถในการทำงานร่วมกับห้องปลอดฝุ่น
ความสามารถในการทำงานร่วมกับห้องปลอดฝุ่นไม่ใช่องค์ประกอบเสริม คุณสามารถเลือกระดับความสะอาดตั้งแต่ Class 1–100 ได้ โดยไม่มีการสร้างอนุภาคใดๆ และมีระบบกรองอากาศที่ช่วยป้องกันไม่ให้มีสิ่งสกปรกเข้ามาในวงแหวน ระบบควบคุมถูกปรับให้มีความสม่ำเสมอ ดังนั้นผลิตภัณฑ์แต่ละชุดจึงมีคุณภาพเท่ากันเสมอ
เหตุผลที่มันได้ผลในจุดที่สำคัญ
ในกระบวนการลิโธกราฟี การควบคุมอุณหภูมิของฟอโตรีสิสต์ให้อยู่ในเกณฑ์ที่กำหนด จะช่วยลดความผิดเพี้ยนของขนาดชิป และลดการต้องทำงานใหม่ ส่วนในกระบวนการทำความสะอาดและอบวงแหวน ระบบนี้ช่วยกำจัดน้ำออกได้อย่างมีประสิทธิภาพ โดยไม่ทำให้เกิดรอยขีดข่วน ดังนั้นความหนาแน่นของข้อบกพร่องก็จะลดลง
สำหรับการบรรจุ
แพลตฟอร์มนี้ยังสามารถใช้ในการอบสารเคลือบและสารเติมเต็มได้อีกด้วย โดยมีความสม่ำเสมอในการอบ ทำให้ใช้เวลาในการผลิตน้อยลง และใช้พลังงานน้อยลง ผลลัพธ์คือการผลิตที่มีประสิทธิภาพ มีวงแหวนที่เสียหายน้อยลง และมีเวลาหยุดทำงานน้อยลง
สิ่งที่ต้องคำนึงถึงในการติดตั้งและบำรุงรักษา
ต้องปรับขนาดท่อระบายอากาศให้เหมาะสมกับความแตกต่างของความดันในห้องปลอดฝุ่น หากท่อระบายอากาศไม่สอดคล้องกัน ก็จะเกิดกระแสอากาศที่ไม่สม่ำเสมอ ซึ่งจะส่งผลเสียต่อความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ นอกจากนี้ อุปกรณ์นี้ยังต้องมีวงจรไฟฟ้าที่เหมาะสม เพื่อให้อุณหภูมิคงที่ในช่วงการเพิ่มอุณหภูมิอย่างรวดเร็ว
การปรับแต่ง
ควรมีการปรับแต่งอุปกรณ์ทุกๆ 5,000 ชั่วโมง เพื่อให้อุณหภูมิมีความแม่นยำ หากตั้งค่าได้อย่างถูกต้อง อุปกรณ์นี้สามารถทำงานได้ตลอด 24/7 โดยมีประสิทธิภาพในการควบคุมอุณหภูมิในการอบวงแหวน การอบฟอโตรีสิสต์ และการบรรจุ