วิธีที่ดีกว่าในการทำให้แผ่นเซมิคอนดักเตอร์ MEMS แห้ง
หากคุณเคยมีประสบการณ์ในการผลิตเซ็นเซอร์ MEMS มาก่อน คุณคงจะรู้ดีว่าการทำให้แผ่นเซมิคอนดักเตอร์แห้งโดยไม่ให้มีคราบตกค้าง หรือแย่กว่านั้นคือไม่ให้เกิดการบิดเบี้ยวของแผ่นเซมิคอนดักเตอร์จากแรงความร้อนนั้นเป็นเรื่องที่ยากมาก
คนส่วนใหญ่มักใช้เครื่องทำความร้อนแบบคอนเวกชัน แต่มีปัญหาอยู่ตรงที่เครื่องเหล่านี้มักจะทำให้ผนังภายในเครื่องร้อนขึ้น ซึ่งถือเป็นการสิ้นเปลืองพลังงาน และยังเป็นอันตรายต่อผู้ที่ต้องเข้าไปในเครื่องนั้นอีกด้วย
เราพบวิธีที่ดีกว่านั้น นั่นก็คือการใช้หลอดไฟทำความร้อนแบบอินฟราเรดแบบมีทิศทางการทำงานที่ชัดเจน
วิธีการทำงาน
ลองนึกภาพดูว่า เครื่องทำความร้อนแบบรีซิสทีฟจะพยายามทำให้อากาศรอบๆ แผ่นเซมิคอนดักเตอร์ร้อนขึ้น แต่หลอดไฟอินฟราเรดนั้นแตกต่างออกไป เพราะมันจะปล่อยรังสีแม่เหล็กไฟฟ้าในแนวตรง
เราจะชี้หลอดไฟไปที่แผ่นเซมิคอนดักเตอร์โดยตรง พลังงานจะไปกระทบกับแผ่นเซมิคอนดักเตอร์และของเหลวที่ติดอยู่บนแผ่นนั้น ทำให้ของเหลวระเหยอย่างรวดเร็ว ด้วยเหตุนี้ ผนังภายในเครื่องจึงยังคงเย็นอยู่ คุณจึงไม่ต้องเสียพลังงานไปกับการทำให้ห้องร้อนขึ้น แต่จะเอาพลังงานไปใช้กับส่วนที่จำเป็นจริงๆ เท่านั้น
สิ่งที่ต้องระวัง
แต่การใช้หลอดไฟอินฟราเรดนั้นก็ไม่ใช่เรื่องง่ายเสมอไป หากต้องการให้มีความร้อนที่เหมาะสมสำหรับการผลิตเซ็มิคอนดักเตอร์ MEMS เรามักจะใช้หลอดไฟควอตซ์แบบคลื่นสั้น ซึ่งจะทำให้เกิดความร้อนได้อย่างรวดเร็ว ซึ่งเหมาะสำหรับการผลิตที่ต้องการความรวดเร็ว
แต่คุณต้องระวังระยะห่างระหว่างหลอดไฟกับแผ่นเซมิคอนดักเตอร์ด้วย หากระยะห่างใกล้เกินไป ก็จะเกิดจุดร้อนที่ทำลายเซ็นเซอร์ได้ แต่ถ้าระยะห่างไกลเกินไป ก็จะทำให้เวลาในการทำให้แผ่นเซมิคอนดักเตอร์แห้งนานขึ้น คุณต้องหาจุดที่เหมาะสมให้ได้
ข้อดีอีกอย่าง
ข้อดีที่สุดก็คือคุณไม่จำเป็นต้องใช้วัสดุฉนวนขนาดใหญ่เหมือนในระบบคอนเวกชันอีกต่อไป นั่นหมายความว่าเครื่องมือต่างๆ จะใช้พื้นที่น้อยลงมาก
นอกจากนี้ ยังช่วยลดเวลาการรอให้เครื่องเริ่มทำงานได้อีกด้วย ผู้ปฏิบัติงานสามารถเข้าไปในเครื่องได้เร็วขึ้น โดยไม่ต้องกังวลเรื่องความร้อนที่อาจทำให้เกิดอันตรายได้
เพียงแค่มีเคล็ดลับเล็กๆ น้อยๆ ก็คือ ต้องมั่นใจว่าแหล่งจ่ายไฟสามารถรองรับกำลังไฟสูงสุดของหลอดไฟได้ หากไม่สามารถรองรับได้ ก็อาจทำให้หลอดไฟดับหรือไส้หลอดไหม้ได้เร็วกว่าที่ควรจะเป็น