บนสายการผลิต ความสม่ำเสมอในการอบ photoresist คือเกณฑ์พื้นฐาน—ไม่มีพื้นที่ให้คลาดเคลื่อน อุณหภูมิที่เปลี่ยนแปลงเพียงไม่กี่องศาบนเวเฟอร์จะส่งผลให้เกิดข้อผิดพลาดความกว้างเส้น 0.1 μm และข้อผิดพลาดนี้จะสะสมในแต่ละชั้นของกระบวนการลิโธกราฟี เราจึงพัฒนาตัวสะท้อนสำหรับหลอดไฟอบเวเฟอร์เพื่อกำจัดความผันแปรนั้น มันจะปรับรูปรังสีอินฟราเรดให้เป็นสนามความร้อนเสถียรที่มีขนาดต่ำกว่าหนึ่งมิลลิเมตร เพื่อให้การอบแบบ soft bake และ hard bake อยู่ในสเปคอย่างต่อเนื่องในทุกชุดงาน
สิ่งที่สำคัญในเชิงเทคนิค
ตัวสะท้อนนี้ถูกปรับแต่งสำหรับการส่งผ่าน NIR โดยควบคุมมุมของแสงอย่างเข้มงวด สามารถแมปความเข้มได้ภายใน ±0.1°C บนระนาบเวเฟอร์ รูปร่างเรขาคณิตถูกออกแบบเพื่อความสม่ำเสมอ ไม่เน้นที่ความเข้มสูงสุด เนื่องจากการอบ photoresist ขึ้นอยู่กับงบประมาณความร้อนที่สม่ำเสมอ ผิวของตัวสะท้อนถูกออกแบบให้มีฝุ่นละอองต่ำและคงความสะท้อนแสงได้เสถียร ช่วยรักษาจำนวนอนุภาคให้อยู่ในระดับที่เหมาะสมภายในห้องสะอาด Class 1–100 และความสม่ำเสมอของผลลัพธ์ยังคงอยู่ได้นานกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการลดลงของความเข้มไม่เกิน 5% แม้จะทำงานต่อเนื่อง 24/7
นี่คือเหตุผลที่ตัวสะท้อนนี้ทำงานได้ดีในสภาพแวดล้อมการใช้งานของคุณ
คุณผลักดันเวเฟอร์ผ่านกระบวนการลิโธกราฟี จากนั้นนำไปอบบนแผ่นอบที่เวลาการอบ อุณหภูมิ และความสม่ำเสมอตั้งค่ามิติที่สำคัญ ตัวสะท้อนจะล็อกโปรไฟล์ความร้อนของหลอดไฟ ลดจุดร้อนและการลดความเข้มที่ขอบซึ่งเป็นสาเหตุของมิติที่ไม่สม่ำเสมอและการเกิดคราบฝัง ผลลัพธ์คือความสม่ำเสมอที่ดีขึ้นทั่วเวเฟอร์ ลดการทำงานซ้ำ และผลผลิตที่สามารถวางแผนได้ นอกจากนี้ยังช่วยประหยัดพลังงาน เนื่องจากระบบให้ปริมาณความร้อนที่ต้องการโดยไม่เกินความจำเป็น ลดต้นทุนการดำเนินงานต่อเวเฟอร์
หมายเหตุบางประการสำหรับชั้นผลิต
ตัวสะท้อนสามารถติดตั้งแทนในชุดหลอดอบมาตรฐานได้ แต่ความคลาดเคลื่อนในการจัดตำแหน่งต้องแม่นยำ—การเลื่อนตำแหน่งเพียงระดับต่ำกว่าหนึ่งมิลลิเมตรจะเปลี่ยนแผนที่ความสม่ำเสมอ ควรตั้งค่าโดยใช้ขั้นตอนควบคุมและล็อกตำแหน่งเป็นส่วนหนึ่งของการบำรุงรักษาป้องกันอุบัติเหตุ อายุการใช้งานของตัวสะท้อนขึ้นอยู่กับอุณหภูมิการทำงานและสภาพแวดล้อมห้องสะอาดด้วย การสัมผัสกับไอระเหยของตัวทำละลายเข้มข้นจะลดอายุการใช้งานของชั้นเคลือบ ควรกำหนดตารางการเปลี่ยนเพื่อให้สอดคล้องกับเป้าหมายเวลาการใช้งาน เพื่อหลีกเลี่ยงปัญหาที่ไม่คาดคิดบนสายการผลิต