หยุดรอให้แผ่นวาเฟอร์ร้อนขึ้นเถอะ
หากคุณเคยทำงานด้านการประมวลผลชิป半導体มาก่อน คุณคงเข้าใจดีว่าการใช้ลมเพื่อสร้างความร้อนนั้นน่ารำคาญเพียงใด กระบวนการนี้ช้ามาก คุณต้องนั่งรอให้อากาศร้อนขึ้นก่อน แล้วค่อยรอให้ความร้อนนั้นถูกถ่ายเทเข้าสู่แผ่นวาเฟอร์ นี่เป็นอุปสรรคสำคัญจริงๆ
แต่มีวิธีที่ดีกว่านั้น นั่นคือการใช้เครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดที่สามารถทำงานได้ในสภาพสุญญากาศ วิธีนี้ไม่จำเป็นต้องใช้อากาศในการถ่ายเทความร้อน แต่ใช้รังสีแม่เหล็กไฟฟ้าเพื่อส่งพลังงานไปยังจุดที่ต้องการโดยตรง
ทำไมการใช้ลมเพื่อสร้างความร้อนถึงสร้างปัญหา?
อากาศร้อนนั้นเคลื่อนตัวช้ามาก ทำให้เกิดความล่าช้าในการสร้างความร้อน นอกจากนี้ หากคุณเปลี่ยนจากสภาพสุญญากาศมาเป็นสภาพที่มีก๊าซอยู่ภายใน เพียงเพื่อให้เกิดความร้อน ก็อาจทำให้เกิดการปนเปื้อนและความผันผวนของแรงดันได้
แต่หลอดอินฟราเรดนั้นแตกต่างออกไป มันสามารถทำงานได้ดีในสภาพสุญญากาศ ข้อดีก็คือเวลาที่ใช้ในการสร้างความร้อนนั้นน้อยลงมาก จากหลายนาทีกลายเป็นเพียงไม่กี่วินาทีเท่านั้น นี่เป็นสิ่งที่เปลี่ยนแปลงกระบวนการทำงานของคุณไปโดยสิ้นเชิง
เราสร้างเครื่องทำความร้อนแบบนี้ได้อย่างไร?
คุณไม่สามารถนำเครื่องทำความร้อนธรรมดามาใช้ในสภาพสุญญากาศได้ เพราะอาจเกิดการรั่วไหลของก๊าซซึ่งจะทำให้ชิ้นงานเสียหายได้
ดังนั้นเราจึงใช้ภาชนะที่ทำจากควอตซ์ซึ่งสามารถทนต่อสภาพสุญญากาศได้ ข้อดีอีกอย่างก็คือความร้อนจะถูกส่งไปยังจุดที่ต้องการโดยตรง ทำให้ไม่เกิดความเสียหายกับบริเวณอื่นๆ ของแผ่นวาเฟอร์
ข้อเสียก็มีเช่นกัน…
อินฟราเรดไม่ใช่เครื่องมือวิเศษ ด้วยความร้อนที่สูงและเร็วมาก จึงเป็นไปได้ง่ายที่จะทำให้อุณหภูมิสูงเกินไป หากคุณไม่ปรับค่า PID ให้เหมาะสม ความร้อนก็อาจสูงเกินกว่าที่ต้องการได้
คุณจำเป็นต้องใช้เครื่องวัดอุณหภูมิที่มีความแม่นยำสูง เพื่อตรวจสอบอุณหภูมิของพื้นผิวแบบเรียลไทม์ นอกจากนี้ ระบบทำความเย็นก็มีความสำคัญมากเช่นกัน หากระบบทำความเย็นไม่ดีพอ ความร้อนจากหลอดอินฟราเรดก็อาจทำลายซีลที่ใช้ในสภาพสุญญากาศได้
สรุปแล้ว การเปลี่ยนมาใช้อินฟราเรดจะช่วยเพิ่มประสิทธิภาพในการผลิต คุณจะไม่ต้องเสียเวลาไปกับการรอให้เครื่องร้อนขึ้นอีกต่อไป แต่สามารถเริ่มกระบวนการผลิตได้ทันที