Wafer’lerinizin Isınmasını Beklemeyi Bırakın
Eğer yarı iletken üretimi konusunda biraz olsun deneyiminiz varsa, zorunlu hava konveksiyonunun ne kadar sinir bozucu olduğunu biliyorsunuzdur. Bu yöntem oldukça yavaştır; aslında sadece orada oturup havanın ısınmasını bekliyorsunuz ve ardından bu ısının wafer’e geçmesini bekliyorsunuz. Bu durum büyük bir engeldir.
Ancak daha iyi bir yol var. Vakum ortamlarında kullanılabilen kızılötesi ısıtıcılar, aracıyı ortadan kaldırır. Isıyı taşımak için havaya bağımlı kalmak yerine, elektromanyetik radyasyon kullanarak enerjiyi doğrudan hedefe ulaştırır.
Neden Konveksiyon Zaman Kaybına Neden Oluyor?
Sıcak hava oldukça yavaştır. Bu da üretim sürenizi uzatan bir faktördür. Ayrıca, sadece ısı elde etmek için vakum ortamından gaz dolu bir ortama geçmek, kirlenme ve basınç değişikliklerine yol açar.
Kızılötesi lambalar ise farklıdır. Onlar sağlam bir vakum ortamını tercih ederler. Buradaki asıl avantaj, ısıtma süresinin çok kısa olmasıdır. ODALARIN her bir santimetreküpünü ısıtmaya çalışmak yerine, kızılötesi fotonlar doğrudan wafer’e ulaşır. Böylece ısıtma süresi dakikalardan saniyelere düşer. Çok hızlı. Gerçekten çok hızlı. Ve bu da iş akışınız için her şeyi değiştirir.
Bunları Nasıl Üretiyoruz?
Standart bir ısıtıcıyı yüksek vakum ortamına koymak mümkün değildir. Gaz salınımı ciddi bir sorundur; küçük bir sızıntı bile tüm ürünleri bozar.
Bu yüzden vakum ortamlarında kullanılmak üzere özel kuvars kaplar ve contalar kullanıyoruz. En iyi yanı ise ısının yoğunlaştırılmasıdır. Wafer’in belirli bölgelerini ısıtabilirsiniz ve çevredeki parçaların zarar görmesini engelleyebilirsiniz. Böylece silikonun kenarlarına baskı uygulanmaz ve daha az bozulmuş parça olur.
Bir Avantajın Da Dezavantajı Var
Kızılötesi ısıtma bir sihirli çubuk değildir. Enerji çok güçlü ve hızlı bir şekilde ulaştığı için hedef sıcaklığın üzerine çıkılması kolaydır. Eğer PID döngüsü doğru ayarlanmazsa, hedef sıcaklığın çok üzerine çıkılır.
Yüzey sıcaklığını gerçek zamanlı olarak izlemek için hızlı tepki veren termometrelere ihtiyacınız vardır. Ayrıca soğutma sisteminize de önem vermelisiniz. Eğer yetersizse, lambalardan gelen ısı vakum contalarını bozacaktır.
Sonuç olarak, kızılötesi ısıtma kullanmak, üretim hızını artırmak demektir. Makinenizin sadece ısınmak için harcadığı zamanı ortadan kaldırıp, gerçek işlemlere başlayabilirsiniz.