На поверхні плати процес обробки фотополімеру не переносить жодних похибок. Навіть зміна температури на 1°C під час процедури висушування може призвести до зміни критичних розмірів елементів плати. Крім того, наявність частинок у середовищі може зруйнувати всю партію продукції. Ми розробили лампи для нагріву кварцевих контейнерів таким чином, щоб усунути ці похибки.
Що є важливим у конструкції ламп
Лампи містять галогенні елементи короткохвильового діапазону, які знаходяться всередині кварцевих корпусів високої чистоти. Це забезпечує швидку реакцію та точний контроль температури. Рівномірність температури на всій поверхні пластини становить ±0,1°C, а повторюваність результатів залишається стабільною. Конструкція ламп дозволяє уникнути появи частинок, а також підходить для використання в приміщеннях класів від 1 до 100. Ефективність ламп залишається стабільною протягом 5 000+ годин, зі зниженням ефективності менше ніж на 5%. Тож лампи можна використовувати безперервно протягом 24/7.
Чому це корисно у процесі літографії
У лініях літографії ці лампи дозволяють контролювати температурний режим під час обробки фотополімеру. Це зменшує відхилення в ширині ліній та необхідність повторної обробки. Точний контроль температури дозволяє скоротити час обробки, не призводячи до надмірного висушування матеріалу. Це підвищує ефективність процесу, зменшує кількість переробок та дозволяє планувати час роботи обладнання. Кварцеві контейнери легко інтегруються у стандартні системи, тож процес заміни ламп є мінімальним.
Практичні аспекти, які потрібно врахувати
Під час встановлення необхідно враховувати напругу, тип з’єднання та розміри контейнерів, що відповідають характеристикам обладнання. Всегда потрібно перевіряти температурний профіль у зв’язку з особливостями фотополімеру – тонкі шари можуть змінювати свою здатність поглинати світло. Лампи не переносять механічних ударів, тож їх потрібно міцно закріплювати. При запуску лампи спочатку потрібно дати їм час нагрітися; рецепти обробки мають враховувати цей факт. Правильна налаштування дозволяє уникнути появи „гарячих точок“, тож рівномірність температури залишається на рівні ±0,1°C навіть при обробці тисяч пластин.