فوٹوریزسٹ کو نرم یا سخت حالت میں خشک کرنے کے دوران، درجہ حرارت میں تغیرات کو بالکل برداشت نہیں کیا جاسکتا۔ اگر کسی جگہ درجہ حرارت زیادہ ہو جائے، تو کیٹالسٹ لیئر متاثر ہو جاتا ہے؛ اور اگر کسی جگہ درجہ حرارت کم ہو جائے، تو فوٹوریزسٹ کی سطح پر داغ پڑ جاتے ہیں۔ اسی وجہ سے فیول سیل کیٹالسٹ کو خشک کرنے کے لئے ایک خصوصی لیمپ استعمال کیا جاتا ہے؛ یہ لیمپ ویفر کو خشک کرنے، لیتھوگرافی کے عمل کو مکمل کرنے، پیکیجنگ کے عمل کو مکمل کرنے، اور صفائی کے بعد خشک کرنے کے لئے استعمال ہوتا ہے۔ یہ سب کام ایک ہی، صاف ستھرے ماحول میں انجام دئے جاتے ہیں۔
کیا چیزیں اہم ہیں؟
ہم شارٹ ویو انفراریڈ عناصر کا استعمال کرتے ہیں، جن کا ردِعمل تیز ہوتا ہے، اور ان کا سپیکٹرل کنٹرول بھی بہترین ہوتا ہے۔ اس طرح کیٹالسٹ انک کو مناسب درجہ حرارت پر خشک کیا جاسکتا ہے۔ ہاٹ زون میں درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1°C کے اندر رہتی ہے، تاکہ ہر ڈائی کو برابر حرارت مل سکے۔ لیمپ کا ہیڈ Class 1–100 سے مطابقت رکھتا ہے، اور ہیٹر سے کوئی ذرات پیدا نہیں ہوتے، نیز آپٹیکل پاتھ بند ہونے کی وجہ سے کوئی آلودگی داخل نہیں ہوتی۔ پاور ڈیلیوری ±0.5% کے اندر رہتی ہے، اور ریپیٹیبلٹی کو برقرار رکھنے کے لئے سبسٹریٹ سطح پر پائرومیٹری کا استعمال کیا جاتا ہے۔
پروڈکشن میں اس کی اہمیت کیوں ہے؟
عملی طور پر، فوٹوریزسٹ کو مناسب طریقے سے خشک کرنے سے فضول مال کی مقدار کم ہو جاتی ہے، پیکیجنگ کے عمل میں پیداوار میں اضافہ ہوتا ہے، اور صفائی کے بعد خشک ہونے کا عمل بھی تیز ہو جاتا ہے۔ توانائی کی کھپت کم ہو جاتی ہے، کیوں کہ لیمپ جلدی ہی مناسب درجہ حرارت تک پہنچ جاتا ہے، اور اس کی کارکردگی 24/7 جاری رہتی ہے۔ ہمارے پاس ایسے لیمپ بھی ہیں جو 5,000 گھنٹوں سے زیادہ کام کرتے ہیں، اور ان کی کارکردگی میں 5% سے بھی کم کمی واقع ہوتی ہے۔ درجہ حرارت کی سطح بھی ہر بار یکساں رہتی ہے۔
کچھ اہم نکات:
لیمپ کو معیاری ٹریکس اور ٹولز کے ساتھ آسانی سے استعمال کیا جاسکتا ہے، لیکن الائنمنٹ اور سبسٹریٹ کی خصوصیات بھی اہم ہیں۔ بہترین نتائج کے لئے، اصل پروسیس ماحول میں آلات کی مدد سے درجہ حرارت کو کیلیبریٹ کریں، اور یقین کریں کہ کاریئر اور فکسچرز ٹارگٹ زون پر سایہ نہ ڈالیں۔ کوارٹز ونڈو کو بھی ایک استعمال شدہ آلے کی طرح سمجھیں، اور اسے باقاعدگی سے صاف کریں تاکہ درجہ حرارت کی یکسانیت برقرار رہے۔