Trong quá trình in ấn bằng phương pháp lithography, sự thay đổi nhiệt độ 1°C trong quá trình nung ấm có thể khiến độ dày lớp photoresist thay đổi vài nanomet – và điều này sẽ gây ra sai số trong việc cố định vị trí của lớp photoresist trên bề mặt wafer. Chúng tôi thiết kế các bộ sưởi nhằm đối phó với thực tế này, chứ không phải chống lại nó. Là nhà sản xuất bộ sưởi có nguồn gốc từ Trung Quốc, chúng tôi cung cấp các mô-đun sưởi giúp duy trì độ đồng đều của nhiệt độ trên toàn bề mặt wafer ở mức ±0,1°C, nhờ đó các kích thước quan trọng của wafer vẫn được kiểm soát tốt.
Những yếu tố quan trọng trong thiết kế
Chúng tôi sử dụng công nghệ tia hồng ngoại tần số cao, kèm theo các bộ phát nhiệt loại quartz-halogen. Cách làm nóng này nhanh chóng và hiệu quả; việc sử dụng vật liệu có khối lượng nhỏ giúp nhiệt độ ổn định nhanh hơn. Hệ thống kiểm soát vòng kín giúp duy trì nhiệt độ ở mức mong muốn, nhờ vào các cảm biến được hiệu chuẩn theo tiêu chuẩn NIST. Độ lặp lại của nhiệt độ được đảm bảo ở mức ±0,2°C giữa các lần hoạt động.
Vật liệu và kỹ thuật lắp ráp
Chúng tôi sử dụng vật liệu có độ tinh khiết cao và các mối nối được hàn chặt chẽ để giảm thiểu việc phát sinh khí và hạt bụi. Nhờ đó, thiết bị này có thể đáp ứng được các yêu cầu của môi trường làm việc trong phòng sạch loại 1–100. Mật độ năng lượng được điều chỉnh sao cho phù hợp với các bộ phận chứa wafer và các bộ phận gia nhiệt. Chúng tôi cũng cung cấp nhiều tùy chọn về điện áp và kích thước để phù hợp với các thiết bị của các nhà sản xuất khác.
Tại sao giải pháp này phù hợp cho quy trình sản xuất
Quy trình xử lý photoresist – bao gồm các bước nung ấm, xử lý sau nung ấm – đều phụ thuộc vào việc duy trì nhiệt độ ổn định. Các bộ sưởi của chúng tôi giúp đạt được nhiệt độ mong muốn nhanh chóng, giảm thiểu sự dao động nhiệt độ, đồng thời duy trì độ đồng đều của nhiệt độ trên toàn bộ wafer. Bạn có thể thấy rõ lợi ích từ việc này: các kích thước quan trọng của wafer được kiểm soát tốt hơn, số lượng sản phẩm cần sửa chữa giảm đi, và hiệu suất sản xuất ổn định hơn.
Tiết kiệm năng lượng
Việc sử dụng hệ thống sưởi theo yêu cầu và khả năng làm mát nhanh giúp tiết kiệm năng lượng. Thiết bị này có thể hoạt động 24/7 mà không gặp sự cố không mong muốn.
Những điều cần lưu ý khi lắp đặt
Việc lắp đặt phụ thuộc vào các yếu tố như độ phẳng của bề mặt tiếp xúc, áp lực tiếp xúc và độ phản xạ nhiệt. Ngay cả một khoảng trống nhỏ giữa các bộ phận cũng có thể gây ra sự không đồng đều về nhiệt độ. Hãy tiến hành kiểm tra nhiệt độ trong quá trình khởi động, sau đó cố định các thông số hiệu chuẩn. Thiết bị sẽ hoạt động đúng như mong muốn – nhưng chỉ khi bạn coi các yếu tố cơ học như một phần của hệ thống điều nhiệt, chứ không phải là yếu tố phụ.