Cách tốt hơn để sấy khô các tấm wafer MEMS
Nếu bạn từng tham gia vào quá trình chế tạo cảm biến MEMS, chắc hẳn bạn hiểu rõ những khó khăn trong việc sấy khô các tấm wafer mà không gây ra hiện tượng dư lượng chất lỏng còn sót lại – hoặc tệ hơn nữa, làm biến dạng bề mặt wafer do áp lực nhiệt. Đó quả là một thử thách lớn.
Hầu hết mọi người đều sử dụng các bộ sưởi thông thường, nhưng điều này gây ra nhiều vấn đề. Chúng có xu hướng làm nóng các bức tường bên trong buồng máy. Điều này không chỉ lãng phí năng lượng mà còn gây nguy hiểm cho những người phải tiếp xúc với máy móc này.
Chúng tôi đã tìm ra một cách tốt hơn: sử dụng đèn sưởi bằng bức xạ hồng ngoại.
Cách thức hoạt động
Hãy tưởng tượng như sau: Các bộ sưởi thông thường cố gắng làm ấm không khí xung quanh chi tiết cần được sấy. Còn đèn hồng ngoại thì khác – chúng phát ra bức xạ điện từ theo đường thẳng. Chúng ta hướng chùm sáng này trực tiếp vào tấm wafer. Năng lượng từ đèn sẽ làm bay hơi chất lỏng còn sót lại trên bề mặt wafer. Vì nhiệt lượng được tập trung vào vị trí cần sấy, nên các bức tường của máy móc vẫn giữ được nhiệt độ ổn định. Bạn không cần lãng phí năng lượng để làm ấm cả căn phòng; bạn chỉ cần sưởi ấm những vị trí thực sự cần thiết thôi.
Những điều cần lưu ý
Tuy nhiên, việc sử dụng đèn hồng ngoại cũng không hề đơn giản. Để đạt được mật độ nhiệt phù hợp cho việc sấy khô các tấm wafer MEMS, chúng ta thường sử dụng đèn thạch anh tia ngắn. Những đèn này có khả năng tăng nhiệt độ nhanh, rất hữu ích để duy trì quy trình sản xuất.
Nhưng bạn cần chú ý đến khoảng cách giữa đèn và tấm wafer. Nếu đặt đèn quá gần, sẽ tạo ra những điểm nóng, làm hỏng cảm biến. Ngược lại, nếu đặt đèn quá xa, thời gian sấy khô sẽ kéo dài. Bạn cần tìm được khoảng cách lý tưởng.
Giúp công việc trở nên dễ dàng hơn
Điều tuyệt vời nhất là bạn có thể loại bỏ những lớp cách nhiệt dày cồng kềnh mà các hệ thống sưởi thông thường cần. Điều này giúp các công cụ của bạn chiếm ít diện tích hơn trên sàn nhà.
Ngoài ra, việc sử dụng đèn hồng ngoại còn giúp giảm thời gian chờ đợi khi khởi động máy. Các nhân viên có thể nhanh chóng vào bên trong máy mà không lo bị bỏng do nhiệt độ cao.
Chỉ cần lưu ý một điều: đảm bảo nguồn điện của bạn có thể đáp ứng được công suất tối đa của đèn. Nếu không, máy sẽ bị sáng yếu hoặc các sợi dây tóc trong đèn sẽ bị cháy sớm hơn dự kiến.