
防止精密设备因过热而损坏
在半导体制造厂中,热量如果不在应有的位置,那可就是个大问题。如果你使用的是普通的红外灯,那么你肯定已经注意到了这个问题:光线会四处散射,很多“废热”会直接作用于设备的内部结构。很快,设备的外壳就会变得非常热,从而引发设备变形的问题。
这时,定向红外灯就能派上用场了。
其工作原理
大多数石英灯会将热量以360度的方式散发出去,这显然有些浪费。我们则通过特殊的反射器和过滤装置来将热量集中到特定的方向上。这样,红外能量就可以准确地照射到晶圆或基板上,而不会散失到其他地方。很简单,只要热量不碰到设备的外壁,外壁就不会变热。这就是物理学的作用。
如何在工厂中使用这些灯
最棒的是,这类灯可以直接替代现有的固化装置。只要把光线集中起来,就不必再担心冷却系统需要承担过大的压力了。此外,操作人员也可以站在机器旁边,而不必担心被过热的外壳烫伤。这样一来,工作环境也会更安全。
当然,也有一些需要注意的地方
不过,你不能简单地把这种灯接上去就不管了。定向加热要求极高的精确度。如果灯光的方向偏差几度,就无法准确照射到目标位置,从而导致设备内部出现过热点。因此,你需要根据腔体的几何结构来确定正确的焦点位置。这需要一些耐心才能做到。
另外,还要注意空气流动的问题。如果让高功率的灯光长时间照射在电极上,电极就会很快损坏。所以,一定要保持良好的通风条件,这样才能让灯具更耐用。