在半成品加工过程中减少碳排放：为何红外灯是最佳选择
说实话，传统的电阻式加热器非常耗能。在晶圆开始受热之前，它们就已经浪费了大量电能来加热腔室内的空气。这种做法效率极低。在当今人们都在努力实现碳减排目标的情况下，这显然是不明智的。
因此，我们选择了短波红外灯。与其加热整个腔室，不如将能量直接作用于晶圆上。这样就能更高效地传递热量。
热量是如何作用的？
可以想象一下，在寒冷的日子里站在阳光下——即使周围的空气很冷，你的皮肤仍然能感受到温暖。那就是辐射热的效果。由于不需要加热周围的空气，洁净室里的空调系统就不必那么努力地工作来保持低温。这样一来，升温时间就会缩短，能耗也会降低。我们花了大量时间来确保热量能够准确地传递到硅片上，而不是被机器的框架吸收掉。
需要克服的难题及解决方案
不过，使用红外灯并非那么简单。必须注意功率密度的问题。如果功率过大或灯光距离晶圆过近，就会导致局部过热。没人希望出现这种情况，因为这会给晶圆带来巨大的热应力。
解决这个问题的关键在于使用精确控制的PID控制器。它能够保持温度稳定，避免温度过高。虽然需要一些调整，但一旦设置好，就能实现稳定的温度控制。
如何真正减少碳足迹？
最棒的是，使用红外灯可以立即减少碳足迹。用传统的加热器时，需要漫长的“预热时间”，而这段时间里，大量的电能被白白浪费掉了。而红外灯则没有这个问题，它们几乎可以立即开始工作。一旦完成加热，就可以立刻切断电源。没有多余的能耗，也没有浪费。这是一种简单有效的办法，有助于实现碳中和，同时也不会影响生产速度或产品质量。