半导体洁净室推车式加热器

在制造过程中，光刻胶的烘烤稳定性取决于上一次热处理的效果。晶圆被放置在传送车上，而温度的任何变化都可能导致光刻胶的尺寸出现误差，进而影响产品的良率。为此，我们设计了半导体洁净室用加热器，以消除这种不确定性。 关键设计要点 我们选用了封装在石英外壳中的短波红外元件——这类元件的响应速度快，且几乎不会...