受控气氛烘烤灯

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤绝不是“单纯的温度步骤”。这是你必须严格控制的热预算。 软烘烤或硬烘烤中温度漂移0.5°C，就会导致关键尺寸（CD）分布发生变化。一次颗粒事件就可能报废整批晶圆。当生产线安排为7×24小时连续运行时，烘烤设备必须在每个班次中提供相同的热剖面，不能有任何借口。 技术关键点 我...