على الأرض، يظل مستوى استقرار مادة الفوتوريزست نفسه كما كان في آخر دورة حرارية تم إجراؤها عليها. توضع الرقائق على عربات خاصة، وكل دقيقة من التغيرات في درجة الحرارة قد تؤدي إلى أخطاء في أبعاد مادة الفوتوريزست، وبالتالي سيكون عليك دفع ثمن ذلك من حيث جودة المنتج النهائي. لذلك، قمنا بتصميم جهاز التسخين الخاص بغرف التصنيع النظيفة للتخلص من هذا العامل غير المؤكد.
ما الذي يهم في النهاية؟ نستخدم عناصر إشعاع تحت الأحمر ذات الموجات القصيرة، مغلفة بغلاف من الكوارتز؛ فهي توفر استجابة سريعة وانبعاثات منخفضة. يحافظ النظام على توحيد درجة الحرارة على مستوى الرقائق ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، كما أن قدرته على الحفاظ على درجة الحرارة المطلوبة تصل إلى أكثر من ±0.5 درجة مئوية. كما أن أنماط التسخين متكررة في كل مرة، مما يساعد على تجنب استهلاك الطاقة بشكل زائد على الضرورة.
يستخدم الجهاز مواد مناسبة لغرف التصنيع النظيفة من الفئة 1–100، كما أن توزيع تيار الهواء مصمم بحيث يقلل من تكون الجسيمات. كما أن خوارزمية التحكم تعمل بشكل مستقر حتى في حالة تغيرات جهد الخط أو فتح الأبواب.
لماذا يعمل بشكل جيد في عمليات الطباعة الضوئية؟ في عمليات الطباعة الضوئية، يساعد جهاز التسخين على الحفاظ على مادة الفوتوريزست في درجة الحرارة المناسبة، دون أن تتجاوز أو تقل عن القيمة المطلوبة. وبالتالي، يتم الحفاظ على استقرار الأبعاد الحرجة للرقائق، مما يقلل من الحاجة إلى إعادة العمل، ويضمن وجود أوقات دوران مستقرة.
يتم تقليل استهلاك الطاقة من خلال استخدام أوضاع التسخين المناسبة، كما أن الجهاز يعمل بشكل مستقر على مدار 24/7، دون أي توقفات غير متوقعة. كما أن العملية موثقة وقابلة للتدقيق، دون الحاجة إلى التخمين.
ما الذي يجب أخذه في الاعتبار؟ يحتاج الجهاز إلى مصدر طاقة مخصص ومفلتر، بالإضافة إلى توصيل كهربائي مناسب لتجنب التفريغ الكهروستاتيكي. يعمل الجهاز بشكل جيد عندما تكون درجة حرارة الغرفة بين 20–25 درجة مئوية، ونسبة الرطوبة بين 35–55%. خارج هذا النطاق، يقل مستوى التوحيد في درجة الحرارة.
يجب التخطيط لاختبار الجهاز مع حاملات الرقائق، والتأكد من أن تدفق الهواء مناسب لتصميم المصنع.