
আইআর হিটিং বনাম ফোর্সড এয়ার: আপনার ক্লিনরুমে আসলে কী গুরুত্বপূর্ণ?
যদি আপনি সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণ করেন, তাহলে তাপীয় ভার নিয়ন্ত্রণের কঠিনতা সম্পর্কে আপনি অবশ্যই জানেন। আমরা বেশিরভাগই ফোর্সড এয়ার ব্যবহার করে থাকি—বাতাসকে উত্তপ্ত করে সেই বাতাস দিয়ে যন্ত্রাংশগুলোকে উত্তপ্ত করার চেষ্টা করি। কিন্তু এখানে বিলম্ব রয়েছে; এটা ধীর প্রক্রিয়া।
আইআর হিটিংয়ে মধ্যবর্তী ধাপগুলো বাদ পড়ে। বাতাসের জন্য অপেক্ষা না করেই শক্তি সরাসরি যন্ত্রাংশে পৌঁছায়।
এবার সময় নিয়ে কথা বলা যাক।
উচ্চ-নির্ভুলতার ফ্যাব্রিকেশন প্রক্রিয়ায় আমরা র্যাম্প-আপ ও কুল-ডাউন প্রক্রিয়ার উপর নির্ভর করি। ফোর্সড এয়ার ব্যবহার করলে অনেক সময় লাগে; চেম্বারটি স্থিতিশীল হওয়ার জন্য অপেক্ষা করতে হয়। এটা একটি বড় বাধা।
আইআর হিটিংয়ে এমন কোনো সমস্যা নেই। কয়েক সেকেন্ডের মধ্যেই নির্ধারিত তাপমাত্রা অর্জিত হয়। প্রতিটি ওয়েফার বা কম্পোনেন্টের জন্য এই সময় কমে যায়। ফলে মোট প্রক্রিয়াকাল কমে যায়।
আর তাছাড়া রয়েছে “অস্বচ্ছতা” সমস্যা।
ফোর্সড এয়ার ব্যবহার করলে বাতাস ঘুরে বেড়ায়; এর ফলে ক্লিনরুমে অস্বচ্ছতা তৈরি হয়। আইআর হিটারগুলো স্থির অবস্থায় থাকে; কোনো ব্লোয়ার বা ডাক্ট নেই। ফলে আপনার পরিবেশ আরও পরিষ্কার থাকে, আর আপনার যন্ত্রপাতিগুলো ঘরের অর্ধেক জায়গা দখল করে না।
কিন্তু এটা সম্পূর্ণ জাদু নয়।
আইআর হিটিংয়েও কিছু সমস্যা রয়েছে। যেহেতু এটা নির্দিষ্ট দিকেই তাপ পাঠায়, তাই বাতাসের মতো সমানভাবে তাপ ছড়ায় না। যদি সাবধান না হন, তাহলে কিছু জায়গায় অতিরিক্ত তাপ সৃষ্টি হবে। যদি আপনার যন্ত্রাংশটির আকৃতি অস্বাভাবিক হয়, তাহলে শক্তিকে সঠিকভাবে ছড়ানোর জন্য রিফ্লেক্টর ব্যবহার করতে হবে।
আপনাকে পাওয়ার ডেনসিটি নিয়েও সাবধান থাকতে হবে। যদি PID কন্ট্রোলারটি সঠিকভাবে সেট না করা হয়, তাহলে উচ্চ-ওয়াটেজের ল্যাম্পগুলো পাতলা সাবস্ট্রেটগুলোকে নষ্ট করে দিতে পারে।
আমার পরামর্শ? দ্রুত-প্রতিক্রিয়াশীল থার্মোকাপল ব্যবহার করুন, যাতে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণে থাকে। আর অবশ্যই ল্যাম্পগুলোর জন্য সঠিক কুলিং সিস্টেম ব্যবহার করুন; নইলে আপনাকে প্রায়ই নষ্ট হয়ে যাওয়া ল্যাম্পগুলো প্রতিস্থাপন করতে হবে।