নিয়ন্ত্রিত বায়ুমণ্ডল বেক ল্যাম্প

Wed, 03 Jun 2026 12:07:30 +0800

On the fab floor, a photoresist bake is never “just a temperature step.” It’s a thermal budget you’re signing off on.
একটি ফ্যাব ফ্লোরে, ফটোরেসিস্ট বেক কখনো “শুধুমাত্র একটি তাপমাত্রার ধাপ” নয়। এটি একটি তাপীয় বাজেট যা আপনি অনুমোদন করছেন।

A 0.5°C drift in soft bake or hard bake will shift your critical dimension (CD) distribution. One particle event can scrap the lot. When the line is scheduled 7×24, the bake tool has to deliver the same thermal profile, shift after shift, without excuses.
সফট বেক বা হার্ড বেকে 0.5°C তাপমাত্রার বিচ্যুতি আপনার ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশন (CD) ডিস্ট্রিবিউশনকে পরিবর্তিত করবে। মাত্র একটি কণা ঘটনার কারণে পুরো লট বাতিল হতে পারে। যখন লাইন 7×24 শিডিউল থাকে, তখন বেক টুলকে প্রতিটি শিফটে একই তাপীয় প্রোফাইল দিতে হবে, কোন অজুহাত ছাড়া।

বায়ুমণ্ডল on Intense Infrared Heating Lamps

নিয়ন্ত্রিত বায়ুমণ্ডল বেক ল্যাম্প