Ohřev infračerveným zářením oproti ohřevu vynuceným proudem vzduchu: Co je ve vaší čisté místnosti opravdu důležité
Pokud pracujete s procesy hluboké úpravy polovodičů, znáte problémy spojené s řízením tepelných zátěží. Většina z nás vyrůstala s použitím ohřevu vynuceným proudem vzduchu – vzduch se ohřál a doufalo se, že ten vzduch rovněž ohřeje danou součástku. Ale dochází k zpoždění – je to pomalé.
Ohřev infračerveným zářením prostě vynechává toto zprostředkování. Místo čekání na vzduch putuje energie přímo do podkladové desky.
Pojďme mluvit o čase.
V provozech s vysokou přesností závisí vše na cyklech nabíjení a ochlazování. Ohřev vynuceným proudem vzduchu je pomalý – v podstatě musíte počkat, dokud se celá komora nestabilizuje, než můžete začít. Je to velká překážka.
Infračervené záření je jiné – dosáhne požadované teploty během sekund. Je to téměř okamžité. Když odstraníte tyto sekundy u každého waferu nebo komponenty, celková doba provozu výrazně klesne. Prostě to působí rychleji, protože opravdu je to rychlejší.
A pak je tu ještě faktor „nespořádku“.
Ohřev vynuceným proudem vzduchu způsobuje pohyb částic. I s těmi nejlepšími HEPA filtrami způsobuje silný proud horkého vzduchu v čisté místnosti turbulence. Tyto turbulence zvedají částice a pokládají je právě tam, kde je vůbec nechcete.
Infračervené ohřívače prostě jen stojí na svém místě. Žádné ventilátory, žádné potrubí, žádné nepotřebné částice. Vaše prostředí zůstává čistější a vaše zařízení nezabírá polovinu místnosti.
Ale není to všechno tak jednoduché.
Infračervené záření má své specifika. Jelikož je směrové, nemáte ten „pohodlný“ efekt tepla, jaký má ohřev vzduchem. Pokud nebudete opatrní, můžete mít „horká místa“. Pokud má vaše součástka divný tvar, budete muset použít reflektory k rozptýlení energie.
Musíte také pečlivě sledovat hustotu energie. Vysoce výkonná lampa může spálit tenkou podkladovou desku během okamžiku, pokud není správně nastaven regulátor teploty.
Můj tip? Použijte termokopule s rychlou reakcí, abyste nepřekročili požadovanou teplotu. A prosím, nezapomeňte na vhodný systém chlazení pro pouzdra lamp – jinak budete muset častěji vyměňovat spálené vlákna.