Lepší způsob sušení waferů typu MEMS
Pokud jste někdy pracovali na výrobě senzorů typu MEMS, víte, jaké to je. Snažit se vysušit wafty bez toho, aby zůstaly pozůstatky kapalin – nebo dokonce aby došlo ke zkreslení součástek kvůli tepelnému napětí – je opravdu náročný úkol.
Většina lidí spoléhá na běžné konvekční ohřívače, ale s tím je problém. Ty mají tendenci ohřívat vnitřní stěny komory. Je to plýtvání energií a navíc představuje bezpečnostní riziko pro ty, kteří musí do této komory nahlédnout.
Našli jsme lepší řešení: směrové infračervené ohřívače.
Jak to vlastně funguje
Představte si to takto: odporové ohřívače se snaží ohřát vzduch kolem součástky. Infračervené ohřívače jsou jiné – vyzařují elektromagnetické záření ve vzpřímené linii. Namíříme tyto ohřívače přímo na wafer. Energie dopadne na wafer a kapalné rezidua – a hned dochází k rychlému odpařování. Jelikož je teplo cílené, stěny zařízení zůstávají chladné. Nepplýtváte tedy energií na ohřev celé místnosti – ohříváte pouze tu část, která to opravdu potřebuje.
Potíže při použití
Není to však tak jednoduché jako „zapnout a používat“. Abychom dosáhli správné hustoty tepla pro senzory typu MEMS, obvykle používáme krátkovlnné křemenné lampy. Ty se rychle nahřejí, což je skvělé pro udržení provozuschopnosti výrobní linky.
Ale musíte dávat pozor na vzdálenost mezi lampami. Je to otázka rovnováhy – pokud umístíte lampu příliš blízko, vzniknou „horká místa“, která poškodí senzor. Pokud ji umístíte příliš daleko, doba sušení se prodlouží. Musíte tedy najít správnou vzdálenost.
Usnadnění práce
Nejlepší na tom je, že nemusíte používat velké izolační materiály, které konvekční systémy vyžadují. To znamená, že vaše nástroje zabírají mnohem méně prostoru na podlaze.
Také se eliminují dlouhé časy čekání, než se stroj spustí. Operátoři mohou rychleji vstoupit dovnitř, aniž by se museli obávat popálení horkým chladičem.
Jeden tip: ujistěte se, že váš zdroj napájení dokáže zvládnout maximální výkon lampy. Pokud ne, budete mít problémy s chvilkovým vypínáním světla nebo s rychlým přetopením vlákna lampy.