Hören Sie auf, Ihre Maschine zu erwärmen – anstatt das Wafer zu erwärmen.
Die meisten Infrarotheizer sind ziemlich unpraktisch in der Anwendung. Sie strahlen Energie in alle Richtungen ab – im Grunde also eine 360-Grad-Wärmestrahlung. Wenn man mit Geräten arbeitet, die nur begrenzte Platzverhältnisse bieten, ist das ein Problem. Die Innenwände der Geräte nehmen all diese überschüssige Energie auf – und schon bald wird das Gehäuse gefährlich heiß.
Deshalb verwenden wir Kohlenstofffaserverbund-Infrarotlampen. Anstatt die Energie überallhin abzustrahlen, lenken wir sie genau dorthin, wo sie benötigt wird – nämlich auf das Wafer oder das Substrat. So müssen Sie nicht mehr dafür bezahlen, das Metallgehäuse der Maschine zu erwärmen.
Wie es funktioniert
Stellen Sie sich das wie den Unterschied zwischen einer Glühbirne und einer Taschenlampe vor. Herkömmliche Quarzheizer leiten die Wärme überallhin ab. Kohlenstofffaserverbundfilamente hingegen ermöglichen es uns, die Energie gezielt zu konzentrieren. Wir können den Fokuspunkt so einstellen, dass die Wärme genau dort ankommt und dort bleibt. Das ist eine große Erleichterung für die Mitarbeiter – sie müssen keine heißen Stellen ausweichen oder sich die Hände an dem Außengehäuse verbrennen, denn die Wände bleiben kühl.
Die „Fallstricke“ – und wie man damit umgeht
Diese Lampen sind zwar sehr leistungsstark, aber man muss vorsichtig sein. Da die Wärme so konzentriert ist, entsteht ein großer Druck auf die Oberfläche. Wenn man zu viel Leistung auf eine kleine Fläche richtet, entstehen heiße Stellen am Substrat. Es geht also darum, das Gleichgewicht zu finden – man muss die Länge der Lampe sowie die Leistungsdichte gegenüber dem Bedarf des jeweiligen Prozesses abwägen.
In Betrieb nehmen
Wir haben diese Lampen so gestaltet, dass sie als Ersatz für die bestehenden Heizgeräte verwendet werden können. Man muss also nicht das gesamte Gerät ausbauen, um sie einzubauen. Die Verkabelung ist einfach.
Ein Tipp: Überprüfen Sie Ihre PID-Controller. Kohlenstofffasern reagieren viel schneller als herkömmliche Keramikheizer – daher müssen Sie die Einstellungen wahrscheinlich anpassen, um mit dieser Geschwindigkeit Schritt zu halten.
Für den Facility-Manager gibt es noch einen Vorteil: Da die Wände der Geräte nicht wie riesige Wärmeableiter fungieren, muss das Kühlsystem nicht so hart arbeiten. Die Kühlmaschinen können endlich durchatmen, da die Umgebungstemperatur stabil bleibt.
Es handelt sich dabei einfach um eine intelligente Art, Energie zu nutzen – indem man auf massives Heizen verzichtet und die Energie gezielt einsetzt.