Auf dem Boden ist die Stabilität des Fotoleitmittels nur so gut wie die des letzten Wärmeverfahrens. Die Wafer befinden sich auf Wagen – jede Minute mit Temperaturschwankungen birgt das Risiko von Abweichungen in den Eigenschaften des Fotoleitmittels. Das bedeutet wiederum höhere Kosten durch wiederholte Bearbeitungsschritte. Wir haben daher Heizgeräte für die Halbleiterreinräume entwickelt, um diese Unsicherheiten auszuschließen.
Was wichtig ist: Wir verwenden Kurzwell-Infrarotkomponenten in Quarzkapseln – dadurch wird eine schnelle Reaktion sowie ein geringes Ausgasen erreicht. Das System sorgt dafür, dass die Temperatur auf den Wafern innerhalb von ±0,1°C konstant bleibt. Zudem liegt die Genauigkeit der Einstellungen bei besser als ±0,5°C. Die Steuerungsfunktionen funktionieren auch bei Schwankungen der Netzspannung oder beim Öffnen der Tür zuverlässig.
Warum es in der Lithografie nützlich ist: In der Lithografie hält das Heizgerät das Fotoleitmittel bei der richtigen Temperatur – ohne Überschreitung oder Unterschreitung der gewünschten Werte. Dadurch wird eine konstante Kontrolle der kritischen Abmessungen ermöglicht, es kommen weniger Nachbearbeitungsschritte infrage, und die Prozesszeiten sind vorhersehbar.
Der Energieverbrauch wird durch gezieltes Heizen sowie Standby-Modi reduziert. Zudem ist die Zuverlässigkeit des Geräts 24/7 gegeben – es gibt keine unerwarteten Stillstände. Der Prozess bleibt dokumentiert und überprüfbar – es muss nicht improvisiert werden.
Was man berücksichtigen muss: Für die Installation ist eine spezielle, gefilterte Stromversorgung sowie eine ordnungsgemäße Erdung erforderlich, um elektrische Entladungen zu vermeiden. Das Heizgerät funktioniert zuverlässig, wenn die Temperatur im Reinraum bei 20–25°C und die Luftfeuchtigkeit bei 35–55% liegt. Außerhalb dieses Bereichs wird die Konstanz der Temperatur beeinträchtigt.
Planen Sie außerdem eine Validierung auf Wagenebene zusammen mit Ihren Waferträgern. Achten Sie außerdem darauf, dass die Luftzufuhr zum Layout des Produktionsraums passt.