http://ir-heat-fire.com/de/tags/mems/ Recent content in MEMS on Intense Infrared Heating Lamps Hugo de Mon, 27 Jul 2026 08:24:19 +0800 http://ir-heat-fire.com/de/posts/reducing-equipment-wall-heat-in-mems-wafer-drying-via-directional-ir-heating/ Mon, 27 Jul 2026 08:24:19 +0800 http://ir-heat-fire.com/de/posts/reducing-equipment-wall-heat-in-mems-wafer-drying-via-directional-ir-heating/ <p><img src="http://ir-heat-fire.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Heizgerät zum Trocknen von MEMS Sensorwafern"></p> <p><strong>Eine bessere Methode zum Trocknen von MEMS-Wafern</strong><br> Wer bereits Erfahrung in der Herstellung von MEMS-Sensoren hat, kennt die Herausforderungen. Es ist schwierig, die Wafer trocken zu bekommen, ohne dass dabei Rückstände zurückbleiben – oder noch schlimmer: dass die Wafer durch thermischen Druck verformt werden.<br> Die meisten Menschen nutzen dazu herkömmliche Konvektionsheizer. Doch das hat einen Nachteil: Sie heizen die Innenwände des Gerächekorbs auf. Das ist Energieverschwendung – und außerdem eine Sicherheitsgefahr für die Personen, die in das Gerät hineingreifen müssen.<br> Wir haben eine bessere Lösung gefunden: Richtungsabhängige Infrarot-Heizlampen.</p>