Hören Sie auf, darauf zu warten, dass die Wafer richtig warm werden. Wer bereits Erfahrung im Tiefbearbeiten von Halbleitern hat, kennt die...

Verhindern Sie eine Überhitzung der Vakuumkammer Wenn Sie bereits Wafern oder Substrate in einer Vakuumkammer erhitzt haben, kennen Sie das Problem....