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		<title>Wagen on Intense Infrared Heating Lamps</title>
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				<title>Heizer für Transportwagen in Halbleiterreinräumen</title>
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				<description>&lt;p&gt;&lt;img src=&#34;http://ir-heat-fire.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png&#34; alt=&#34;Heizer für Transportwagen in Halbleiterreinräumen&#34;&gt;&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;Auf dem Boden ist die Stabilität des Fotoleitmittels nur so gut wie die des letzten Wärmeverfahrens. Die Wafer befinden sich auf Wagen – jede Minute mit Temperaturschwankungen birgt das Risiko von Abweichungen in den Eigenschaften des Fotoleitmittels. Das bedeutet wiederum höhere Kosten durch wiederholte Bearbeitungsschritte. Wir haben daher Heizgeräte für die Halbleiterreinräume entwickelt, um diese Unsicherheiten auszuschließen.&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;&lt;strong&gt;Was wichtig ist:&lt;/strong&gt;&#xA;Wir verwenden Kurzwell-Infrarotkomponenten in Quarzkapseln – dadurch wird eine schnelle Reaktion sowie ein geringes Ausgasen erreicht. Das System sorgt dafür, dass die Temperatur auf den Wafern innerhalb von ±0,1°C konstant bleibt. Zudem liegt die Genauigkeit der Einstellungen bei besser als ±0,5°C. Die Steuerungsfunktionen funktionieren auch bei Schwankungen der Netzspannung oder beim Öffnen der Tür zuverlässig.&lt;/p&gt;</description>
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