Una forma mejor de secar las obleas MEMS
Si has trabajado en la fabricación de sensores MEMS, sabes cuán difícil es este proceso. Intentar secar las obleas sin dejar residuos, o peor aún, sin que estas se deformen debido a las tensiones térmicas, parece ser una tarea imposible.
La mayoría de las personas recurren a calentadores convencionales, pero hay un problema: estos tienden a calentar las paredes internas de la cámara donde se encuentran las obleas. Eso representa un desperdicio de energía y, además, representa un riesgo para quienes tienen que acceder a esa máquina.
Hemos encontrado una solución mejor: lámparas de calentamiento por infrarrojos dirigido.
Cómo funciona
Imagínalo de esta manera: los calentadores resistentes intentan calentar el aire que rodea la pieza. Las lámparas de infrarrojos son diferentes; emiten radiación electromagnética en línea recta. Dirigimos esas lámparas directamente hacia la oblea. La energía afecta tanto a la oblea como a los residuos líquidos, lo que provoca su rápida evaporación. Como el calor se dirige específicamente hacia la oblea, las paredes de la máquina permanecen frías. No se desperdicia energía calentando toda la habitación; solo se calienta la parte que realmente lo necesita.
Los desafíos
No es tan sencillo como “conectar y listo”. Para lograr la densidad de calor adecuada para los sensores MEMS, generalmente utilizamos lámparas de cuarzo de onda corta. Estas se encienden rápidamente, lo cual es ideal para mantener la línea de producción en funcionamiento.
Pero hay que tener cuidado con la distancia entre la lámpara y la oblea. Es necesario encontrar el equilibrio adecuado. Si la lámpara está demasiado cerca, se crean puntos calientes que pueden dañar el sensor. Si está demasiado lejos, el tiempo necesario para secar la oblea aumenta excesivamente. Hay que encontrar ese punto perfecto.
Facilitando el trabajo
Lo mejor de todo es que no necesitas utilizar ese aislante voluminoso que requieren los sistemas de calentamiento convencional. Esto significa que tus herramientas ocupan mucho menos espacio en el suelo.
También se reduce el tiempo de espera antes de poder comenzar a usar la máquina. Los operadores pueden acceder a ella más rápidamente, sin preocuparse por quemarse por el calor excesivo del equipo.
Un consejo: asegúrate de que tu fuente de alimentación pueda soportar la potencia máxima de la lámpara. De lo contrario, podrías enfrentarte a problemas como parpadeos o fallos prematuros de los filamentos de la lámpara.