در خط تولید، میدانید که چه اتفاقاتی میافتد؛ تغییر دمای حدود ۰.۱ درجه سانتیگراد در فرآیند پختن فوتورزیست، میتواند باعث از بین رفتن کیفیت ویفرها شود. به همین دلیل، ما این دستگاههای خشککن ویفر را طراحی کردهایم تا در مواقعی که کنترل دما، تکرارپذیری و کنترل ذرات نقش مهمی در کیفیت تولید دارند، به کار روند.
از نظر فنی، چه چیزهایی اهمیت دارد؟ ما تنوع دمایی در سطح ویفرهای ۱۵۰ میلیمتری و ۲۰۰ میلیمتری را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میکنیم. استفاده از نور مادون قرمز و جریان هوای بهینه، باعث از بین رفتن نقاط داغ بدون ایجاد اختلالات در دما میشود. ماژولهای کوارتز و هالوژن نیز به گونهای تنظیم شدهاند که دما در محدوده مناسب برای پختن فوتورزیست باقی بماند؛ همچنین، هیترهای تقویتشده با الیاف کربنی، باعث افزایش سرعت پختن ویفرها و کاهش انرژی مصرفی میشوند.
سازگاری با اتاقهای پاک نیز یک ویژگی مهم است؛ میتوانید از پیکربندیهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ استفاده کنید؛ در این حالت، هیچ ذرهای تولید نمیشود و فیلترهای مربوطه نیز از ورود آلایندهها به ویفرها جلوگیری میکنند. حلقه کنترل نیز به گونهای تنظیم شده است که تکرارپذیری فرآیند تضمین شود؛ بنابراین، هر بسته تولیدی باید مشابه بسته قبلی باشد.
چرا این روش در جاهایی که اهمیت دارد، مؤثر است؟ در فرآیند لیتوگرافی، کنترل دمای فوتورزیست بسیار مهم است؛ زیرا این کار باعث کنترل ابعاد حیاتی ویفرها میشود و در نتیجه، اختلالات ناشی از تغییرات دما کاهش مییابد. در فرآیندهای تمیزکاری و خشککردن، این دستگاهها آب را بدون ایجاد خط و خش از روی ویفرها برمیدارند؛ در نتیجه، تراکم نقصها کاهش مییابد.
در فرآیند بستهبندی نیز، این پلتفرم میتواند فرآیندهای خشککردن ویفرها را با دقت انجام دهد؛ در نتیجه، زمان تولید کوتاهتر شده و مصرف انرژی نیز کاهش مییابد. مزایای این روش عبارتند از: تولید پیوسته، کاهش تعداد ویفرهای از بین رفته، و کاهش زمان توقف غیرمنتظره دستگاه.
نکاتی که باید در هنگام نصب و نگهداری در نظر گرفته شوند: اندازه لولههای خروجی هوا باید متناسب با تفاوت فشار در اتاق پاک باشد؛ اگر لولهها به درستی متصل نشوند، باعث ایجاد تلاطمات در جریان هوا شده و این امر منجر به کاهش تنوع دمایی میشود. همچنین، این دستگاه به یک مدار برقی مجزا نیاز دارد تا در زمانهایی که دما سریع تغییر میکند، پایداری خود را حفظ کند.
همچنین، باید هر ۵٬۰۰۰ ساعت کار لامپ، دما را دوباره تنظیم کنید تا دقت دما حفظ شود. با تنظیم صحیح، این پلتفرم میتواند ۲۴ ساعته کار کند و عملکرد حرارتی یکنواختی را در فرآیندهای خشککردن ویفرها و بستهبندی فراهم کند.