چرا از لامپهای مادونقرمز برای فرآیند شستشو استفاده میکنیم؟
دنیای نیمههادی، به سمت استانداردهای «سبز» و بدون سرب حرکت میکند. این تغییر را میتوان در مرحله خشک کردن قطعات نیمههادی مشاهده کرد.
برای مدت طولانی، از فرهای حرارتی برای خشک کردن قطعات استفاده میکردیم. اما باید صادقانه بگوییم که گرم کردن یک فضای بزرگ فقط برای خشک کردن چند ویفر، هدر دادن انرژی است. به همین دلیل، از لامپهای مادونقرمز استفاده میکنیم. این لامپها، به جای گرم کردن هوا، مستقیماً روی سطح ویفر تأثیر میگذارند. دیگر نیازی به استفاده از دستگاههای بزرگ برای تهویه هوا نیست؛ این کار باعث کاهش فشار کربنی در اتاقهای تمیزسازی میشود.
نحوه عملکرد لامپهای مادونقرمز
در حین فرآیند شستشو، با مقدار زیادی رطوبت و باقیماندههای شیمیایی روبرو هستیم. برای مقابله با این مشکلات، از لامپهای مادونقرمز ضدآب استفاده میکنیم. اگر از لامپهای معمولی استفاده کنیم، رطوبت باعث اتصال کوتاه یا اکسید شدن فیلامنت لامپ خواهد شد. این کار میتواند به سرعت به تخریب تجهیزات منجر شود.
جادوی واقعی در انرژی تابشی این لامپها نهفته است؛ فوتونها مستقیماً از میان لایه مایع روی سطح ویفر عبور کرده و باعث لرزش و تبخیر سریع مولکولهای آب میشوند.
این فرآیند بسیار سریع اتفاق میافتد. اکثر این سیستمها، در عرض چند ثانیه به دمای مناسب میرسند. این موضوع بسیار مهم است؛ زیرا از ایجاد لکههای ناشی از رطوبت جلوگیری میکند. این لکهها میتوانند باعث کاهش کیفیت تولید قطعات نیمههادی شوند.
مقابله با محیط مرطوب
لولههای کوارتز معمولی، نمیتوانند در محیطهای مرطوب کار کنند. بنابراین باید الکترودها را مهر و موم کرده و از پوششهای ویژه برای حفظ خشکی مدارها استفاده کنیم.
ما از لامپهایی با توان بالا و امواج کوتاه استفاده میکنیم؛ این کار باعث میشود گرما درست روی سطح ویفر تولید شود.
معایب استفاده از لامپهای مادونقرمز
لامپهای مادونقرمز، جادویی نیستند؛ آنها نیز دارای معایب خاص خود هستند. این لامپها گرمای شدیدی تولید میکنند؛ اگر سرعت انتقال قطعات مناسب نباشد یا توان لامپ بیش از حد باشد، ویفر دچار گرمای بیش از حد خواهد شد. بنابراین باید سرعت انتقال قطعات و توان لامپ را به خوبی هماهنگ کرد تا از شوک حرارتی جلوگیری شود.
علاوه بر این، نباید گرمای منعکس شده از دیوارههای اتاق را نادیده گرفت؛ برای مقابله با این مشکل، به سیستمهای خنککننده نیاز است. در غیر این صورت، تجهیزات ما دچار آسیب خواهند شد.