جلوگیری از گرم شدن بیش از حد محفظه خلأ
اگر تا به حال سعی کردهاید ویفرها یا سطوح مورد نظر را در محفظه خلأ گرم کنید، میدانید که این کار چقدر دشوار است. مشکل اصلی، جذب انرژی اضافی توسط دیوارههای محفظه است. دیوارههای محفظه، تمام انرژی اضافی را جذب میکنند؛ در نتیجه، دیوارههای داخلی محفظه بیش از حد گرم میشوند. این امر میتواند باعث آسیب به تجهیزات یا حتی آسیب به فردی شود که از دستگاه استفاده میکند.
روش هوشمندانهتری برای گرم کردن
ما از روشی استفاده میکنیم که در آن از قوانین فیزیک برای کنترل گرمای تولید شده استفاده میشود. به جای استفاده از لامپهای معمولی، روی پشت لامپ، لایهای بازتابنده قرار میدهیم. این لایه، تابش مادون قرمز را به سمت هدف مورد نظر هدایت میکند. این روش، تغییر کوچکی در ساختار لامپ ایجاد میکند، اما تأثیر بسیار خوبی دارد. در نتیجه، دیوارههای محفظه دیگر تحت تأثیر گرمای اضافی قرار نمیگیرند؛ همچنین، قطعاتی که قرار است گرم شوند، بهتر گرم میشوند، و بخشهای خارجی دستگاه نیز سرد باقی میمانند.
مزایا و معایب این روش
مزیت این روش این است که امکان افزایش توان لامپ وجود دارد، بدون اینکه بدنه دستگاه ذوب شود. اما هیچ چیز برای همیشه دوام ندارد؛ استفاده مداوم از این لامپها میتواند باعث فرسودگی لایه بازتابنده شود. البته این اتفاق در یک شب رخ نمیدهد، اما در نهایت اتفاق میافتد. پیشنهاد میکنم هر چند هزار ساعت، وضعیت حرارتی دستگاه را بررسی کنید؛ تا مطمئن شوید که تابش لامپ در طول زمان کاهش نیافته است.
استفاده از این لامپها در محیط خلأ
نصب این لامپها در محیط خلأ نیاز به دقت زیادی دارد. باید مطمئن شوید که کانکتورها مناسب ولتاژ دستگاه هستند؛ همچنین باید مطمئن شوید که لامپ به درستی در جای خود قرار گرفته است. نمیخواهید که قطعات دستگاه تحت فشار قرار بگیرند.
بهترین نکته این است که میتوانید فرآیند گرم کردن را در دماهای بالاتری انجام دهید، در حالی که بخشهای خارجی دستگاه سرد باقی میمانند. این امر به معنای حذف نیاز به سیستمهای خنککننده بزرگ و پیچیده است؛ در نتیجه، هزینههای مربوط به سیستمهای خنککننده کاهش مییابد. همچنین، کارکنانی که از دستگاه استفاده میکنند، دیگر مجبور نیستند از سطوح داغ دوری کنند.