http://ir-heat-fire.com/fa/tags/%D9%81%D9%88%D8%AA%D9%88%D8%B1%D8%B2%DB%8C%D8%B3%D8%AA/ Recent content in فوتورزیست on Intense Infrared Heating Lamps Hugo fa Sat, 20 Jun 2026 05:22:05 +0800 http://ir-heat-fire.com/fa/posts/photoresist-baking-lamp/ Sat, 20 Jun 2026 05:22:05 +0800 http://ir-heat-fire.com/fa/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-fire.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="لامپ پخت فوتورزیست"></p> <p>در فرآیند لیتوگرافی، به سرعت یاد می‌گیرید که تغییر جزئی در دمای حرارتی، می‌تواند کنترل ابعاد مهم را از محدوده استانداردها خارج کند. این لامپ‌های حرارتی صرفاً هیتر نیستند؛ بلکه وسایلی هستند که فرآیند را در حالت پایدار نگه می‌دارند. ما آن‌ها را برای شرایط سخت تولید نیمه‌هادی‌ها طراحی کرده‌ایم؛ چرا که هر ویفر باید شرایط حرارتی یکسانی را تجربه کند.</p> <p><strong>از نظر فنی، چه چیزی اهمیت دارد؟</strong><br> ما تودرتویی حرارتی در سطح ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد حفظ می‌کنیم؛ این کار با استفاده از فرابنفش کوتاه‌موج و فرستنده‌های کوارتز-هالوژن انجام می‌شود. تکرارپذیری دما در هر بار اجرای فرآیند نیز در محدوده ±۰.۲ درجه سانتی‌گراد است؛ بنابراین پروفایل‌های حرارتی ثابت باقی می‌مانند. این سیستم در محیط‌های کلاس ۱–۱۰۰ به خوبی کار می‌کند و هیچ ذره‌ای تولید نمی‌شود تا تعداد نقص‌ها کاهش یابد. مصرف انرژی نیز اندازه‌گیری و کنترل می‌شود؛ فرستنده‌ها نیز تا بیش از ۵۰۰۰ ساعت، پایداری خروجی را حفظ می‌کنند.</p>