لامپ پخت فوتورزیست
در فرآیند لیتوگرافی، به سرعت یاد میگیرید که تغییر جزئی در دمای حرارتی، میتواند کنترل ابعاد مهم را از محدوده استانداردها خارج کند. این لامپهای...
هیتر پخت رزین الکترونی
On the lithography floor, an E-beam resist bake isn’t just a warm-up. It’s the thermal event that sets critical dimension control. A 2°C drift across...